[发明专利]具有堵塞检测的非接触支撑平台

权利要求书

1.一种非接触支撑平台，包括：

多个压力喷嘴，在所述非接触支撑平台的PV台的外表面上，所述压力喷嘴连接到压力源，所述压力源用于产生通过压力喷嘴的流体的流出；

多个真空吸嘴，与所述压力喷嘴穿插在所述外表面上并且经由一个或多个软管连接到真空歧管以产生通过真空吸嘴的流体的流入；

至少一个流量计，被配置为产生指示经由所述一个或多个软管中的至少一个软管的所测量的流入的信号；以及

控制器，被配置为用于分析所述信号以确定所测量的流入是否指示所述多个真空吸嘴中的一个真空吸嘴被堵塞并且在指示堵塞时产生响应。

2.根据权利要求1所述的非接触支撑平台，其中所述多个真空吸嘴中的每个真空吸嘴通过单独的软管连接到所述真空歧管上。

3.根据权利要求2所述的非接触支撑平台，其中每个单独的软管包括单独的流量计，所述流量计被配置为产生指示经由所述单独的软管的所测量的流入的信号。

4.根据权利要求1所述的非接触支撑平台，其中所述多个真空吸嘴通过单个分支软管连接到所述真空歧管。

5.根据权利要求4所述的非接触支撑平台，其中所述多个真空吸嘴中的每一个连接到所述分支软管的分支。

6.根据权利要求4或5所述的非接触支撑平台，其中，所述至少一个流量计位于所述分支软管的干线上，使得所述至少一个流量计被配置为产生指示通过所述多个真空吸嘴的所测量的组合流入的信号。

7.根据权利要求4所述的非接触支撑平台，其中，所述分支软管包括所述分支软管的中间软管分支，所述至少一个流量计位于所述中间软管分支上，使得所述至少一个流量计被配置为产生一信号，该信号指示通过所述多个真空吸嘴中的受监测的真空吸嘴的所测量的组合流入，其中，受监测的真空吸嘴的分支连接到所述至少一个流量计上游的中间软管分支。

8.根据权利要求7所述的非接触支撑平台，其中，所述多个真空吸嘴中未受监测的真空吸嘴设有补偿结构，以使通过每个未受监测的真空吸嘴的流入基本上等于通过每个受监测的真空吸嘴的流入，其中，所述多个真空吸嘴中未受监测的真空吸嘴的分支与所述至少一个流量计下游的中间软管分支连接。

9.根据权利要求1所述的非接触支撑平台，其中，所述至少一个流量计包括收缩部。

10.根据权利要求9所述的非接触支撑平台，其中，所述至少一个流量计包括用于产生指示所述收缩部上游的软管中的流体压力的信号的压力传感器，和用于产生指示所述收缩部下游的软管中的流体压力的信号的压力传感器。

11.根据权利要求9所述的非接触支撑平台，其中，所述至少一个流量计包括产生指示所述收缩部上游的流体压力和所述收缩部下游的流体压力之间的差的信号的压力传感器。

12.根据权利要求11所述的非接触支撑平台，还包括参考导管，所述参考导管具有与所述至少一个流量计的收缩部基本上相同的收缩部，并且其中所述压力传感器可替代地连接到所述一个或多个软管中的至少一个软管上并且连接到所述参考导管上。

13.根据权利要求11所述的非接触支撑平台，还包括导管，所述压力传感器能够连接至所述导管并且所述导管被配置为向所述压力传感器提供零压差。

14.根据权利要求1所述的非接触支撑平台，其中所述控制器被配置为通过将所测量的流入与所述流入的阈值进行比较来确定所测量的流入是否指示所述堵塞。

15.根据权利要求14所述的非接触支撑平台，其中，所述控制器被配置为通过将所测量的流入持续的时间与一个最小时间段进行比较来确定所测量的流入是否指示所述堵塞。