[发明专利]电控反射镜及其制造方法、电扫描器、激光加工机有效
| 申请号： | 201780088522.3 | 申请日： | 2017-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN110494789B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 久米将实;熊田辉彦;伊藤洋平;小林广纪 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;B23K26/082;B41J2/47;G02B5/08;G02B26/08;H04N1/113 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射 及其 制造 方法 扫描器 激光 加工 | ||
【权利要求书】：
1.一种电控反射镜，其具有：
镜面部，其具有镜面；以及
背面增强部，其与所述镜面的背面侧接合，
所述镜面部由单晶SiC晶片构成，
所述背面增强部由C/SiC材料构成，
所述镜面部和所述背面增强部通过金属化后的金和硅的固溶体一体地接合。
2.根据权利要求1所述的电控反射镜，其中，
所述固溶体的金和硅的体积比率是4：1。
3.一种电扫描器，其使用了权利要求1或2所述的电控反射镜。
4.一种激光加工机，其使用了权利要求1或2所述的电控反射镜。
5.一种电控反射镜的制造方法，其是由镜面部和背面增强部构成的电控反射镜的制造方法，该电控反射镜的制造方法具有以下工序：
对单晶晶片的一个面进行镜面加工；
使所述单晶晶片的另一个面金属化，形成所述镜面部；
将PAN类碳纤维、沥青类碳纤维、酚醛树脂和石墨进行混合而形成碳纤维增强树脂；
对所述碳纤维增强树脂进行热处理而使其碳化，获得C/C的块；
对所述C/C的块进行形状加工而获得所述背面增强部；
使金属硅浸渍于所述背面增强部，获得使其C/SiC化后的背面增强部；
使所述C/SiC化后的背面增强部的与所述镜面部接合的面金属化；以及
将所述镜面部和所述背面增强部接合。
6.根据权利要求5所述的电控反射镜的制造方法，其中，
对所述单晶晶片使用单晶SiC晶片。
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