[发明专利]元件安装机及安装头

说明书

本公开的元件安装机将元件安装于安装对象物，所述元件安装机具备安装头及检测装置，所述安装头具有：基部，在内部具有第一气体通路和不与该第一气体通路连通的第二气体通路；升降机构，使所述基部升降；吸嘴，配设于所述基部的下方，伴随着该基部的升降而进行升降，并具有通过向所述第一气体通路供给的负压来吸附所述元件的吸嘴部；施力部，一边允许所述吸嘴部向所述基部侧被压入，一边向下方对该吸嘴部施力；及阀，根据所述吸嘴部的压入量未达到预定量的状态和达到了所述预定量的状态，对所述第二气体通路是否与外部连通进行切换，所述检测装置检测在所述第二气体通路中流动的气体的流量和压力中的至少一方。

技术领域

本公开涉及元件安装机及安装头。

背景技术

以往，在吸附元件并将其向基板等安装对象物安装的元件安装机中，已知有如下这样构成的元件安装机：在吸嘴的下降动作时，吸嘴部克服弹簧的作用力而向吸嘴基部侧被压入(例如，专利文献1)。由此，该元件安装机能够缓和吸嘴的下降动作时的朝向元件的冲击、或者能够轻轻地将元件向基板按压并安装。专利文献1的元件安装机构成为向吸嘴部内的空气通路供给负压而使吸嘴部吸附元件。并且，在吸嘴基部及吸嘴部设有当吸嘴部的压入量达到预定值时将上述空气通路切换为与吸嘴基部的外部连通的状态的泄漏孔。由此，通过在吸嘴的下降动作时，检测空气的流量或者压力，监视空气有无泄漏，能够判定吸嘴部的压入量是否达到预定值。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2015/045065号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在专利文献1所记载的元件安装机中，利用元件的吸附所使用的空气通路来判定吸嘴部的压入量是否达到预定值。因此，例如，存在有如下情况：因元件的吸附的有无、吸附的元件的种类等吸嘴部的状态不同而使得压入量达到预定值时的泄漏时的空气的流量或者压力发生变化。因此，存在有无法高精度地判定吸嘴部的压入量是否达到预定值的情况。

本公开就是为了解决上述课题而作成的，其主要目的在于更高精度地判定吸嘴部的压入量是否达到预定量。

用于解决课题的技术方案

本公开为了实现上述主要目的而采取了以下手段。

本公开的元件安装机将元件安装于安装对象物，其中，所述元件安装机具备安装头及检测装置，所述安装头具有：基部，在内部具有第一气体通路和不与该第一气体通路连通的第二气体通路，升降机构，使所述基部升降；吸嘴，配设于所述基部的下方，伴随着该基部的升降而进行升降，并具有通过向所述第一气体通路供给的负压而吸附所述元件的吸嘴部，施力部，一边允许所述吸嘴部向所述基部侧被压入，一边向下方对该吸嘴部施力，阀，根据所述吸嘴部的压入量未达到预定量的状态和达到了预定量的状态，来对所述第二气体通路是否与外部连通进行切换，所述检测装置检测在所述第二气体通路中流动的气体的流量和压力中的至少一方。

该元件安装机例如在元件的吸附时、元件的安装时等，当基部通过升降机构而下降时，与此相伴地，吸嘴部也下降。另外，当基部在吸嘴部或者被吸嘴部吸附的元件与其它部件抵接的状态下进一步下降时，吸嘴部克服施力部的作用力而向基部侧被压入。并且，根据吸嘴部的压入量是否达到预定量，来对第二气体通路是否与外部连通进行切换。由此，通过使检测装置检测在第二气体通路中流动的气体的流量和压力中的至少一方，元件安装机能够判定压入量是否达到预定量。而且，该判定所使用的第二气体通路不与供给用于元件的吸附的负压的第一气体通路连通。因此，例如，即使元件的吸附的有无、吸附的元件的种类等吸嘴部的状态不同，第二气体通路也难以受其影响。因而，在该元件安装机中，能够更高精度地判定吸嘴部的压入量是否到达预定量。