[发明专利]喷出用基板、液滴喷出头及液滴喷出装置

权利要求书

1.一种喷出用基板，为液滴喷出头的构成部件，所述喷出用基板的特征在于：

所述喷出用基板具有形成有供从所述液滴喷出头喷出的液体通过的喷嘴的基材，

在所述喷嘴内的表面上形成有耐碱性高的保护层，

在所述基材的液滴喷出侧的表面上形成有接触角比所述保护层大的疏液层,

其中，涂覆所述喷嘴内的表面的所述保护层随着朝向液滴喷出侧呈锥状地变薄。

2.根据权利要求1所述的喷出用基板，其特征在于：

在所述疏液层与所述基材之间形成有氧化物层，

所述保护层的耐碱性比所述氧化物层高。

3.根据权利要求2所述的喷出用基板，其特征在于：

所述保护层覆盖所述氧化物层的面向所述喷嘴内的截面。

4.根据权利要求3所述的喷出用基板，其特征在于：

所述保护层覆盖所述氧化物层的截面和所述疏液层的面向所述喷嘴内的截面。

5.根据权利要求2、3或4所述的喷出用基板，其特征在于：

所述氧化物层由钽（Ta）、锆（Zr）、铪（Hf）、钛（Ti）、钌（Ru）、铑（Rh）、铼（Re）、铱（Ir）、铝（Al）、硅（Si）、碳（C）中的至少一种的氧化物构成。

6.根据权利要求1所述的喷出用基板，其特征在于：

在所述基材上形成有液体流路，该液体流路与所述喷嘴连通且开口截面积比该喷嘴大，供从该喷嘴喷出的液体通过，

所述保护层从所述喷嘴内的表面起连续地涂覆所述液体流路内的表面，所述保护层的涂覆厚度在所述喷嘴内的表面上比在所述液体流路内的表面上薄。

7.根据权利要求1所述的喷出用基板，其特征在于：

所述保护层由钽（Ta）、锆（Zr）、铪（Hf）、铌（Nb）、钛（Ti）、钨（W）、钴（Co）、钼（Mo）、钒（V）、镧（La）、锰（Mn）、铬（Cr）、钇（Y）、铂（Pt）、钌（Ru）、铑（Rh）、铼（Re）、铱（Ir）、铈（Ce）、铝（Al）中的至少一种的氧化物、氮化物、氮氧化物、硅酸盐（silicate）或硅化物、或者类金刚石碳（DLC）或感光性环氧树脂构成。

8.根据权利要求1所述的喷出用基板，其特征在于：

所述疏液层由至少具有烷氧硅基或膦酸基、全氟烃基或全氟聚醚基的混合物构成。

9.根据权利要求1所述的喷出用基板，其特征在于：

所述基材由硅（Si）、不锈钢、镍（Ni）、聚酰亚胺树脂、聚苯硫醚树脂或聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂构成。

10.一种液滴喷出头，其特征在于，具备：

共用液体室；

多个压力室，它们被供给所述共用液体室内的液体，并且被提供驱动信号，根据所述驱动信号对被供给的液体施加压力；以及

权利要求1～9中任一项所述的喷出用基板，

在所述压力室中被施加了压力的液体经过所述喷出用基板的所述喷嘴被喷出。

11.一种液滴喷出装置，其特征在于，具备：

权利要求10所述的液滴喷出头；

液体供给单元，其向所述液滴喷出头的所述共用液体室供给所述液体；

驱动电路，其向所述液滴喷出头的压力室提供与描绘数据相对应的驱动信号；以及

移动操作机构，其对从所述液滴喷出头喷出的所述液体所附着的记录介质相对于该液滴喷出头的相对位置进行移动操作。