[发明专利]电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法

权利要求书

1.一种电荷粒子线装置，其特征在于，

上述电荷粒子线装置具备：

试料台，其载置试料；

电荷粒子光学系统，其向上述试料照射电荷粒子束；

检测器，其检测因上述电荷粒子束与上述试料的相互作用而产生的电子；

控制部，其根据由操作者设定的观察条件来控制上述试料台和上述电荷粒子光学系统，并根据来自上述检测器的检测信号来形成图像；以及

显示器，其显示用于设定上述观察条件的观察辅助画面，

上述控制部将与在上述观察条件下通过上述电荷粒子光学系统照射到上述试料的每个像素的照射电子量有关的信息显示于上述观察辅助画面，

作为与上述每个像素的照射电子量有关的信息，上述控制部将每个像素的照射电子数、每单位长度的扫描的照射电子数、每单位面积的照射电子数中的至少任一个显示于上述观察辅助画面。

2.根据权利要求1所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述控制部还将对上述图像的画质有影响的关联参数一并显示于上述观察辅助画面。

3.根据权利要求2所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述电荷粒子线装置具备接受操作者的输入的操作部，

上述控制部在上述观察辅助画面上，将与在应用了由上述操作部编辑后的关联参数的情况下的观察条件下由上述电荷粒子光学系统照射到上述试料的每个像素的照射电子量有关的信息显示于上述观察辅助画面。

4.根据权利要求3所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述控制部接受来自上述操作部的指示，根据应用了由上述操作部编辑后的关联参数的观察条件来控制上述试料台和上述电荷粒子光学系统。

5.根据权利要求3所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述控制部具备存储预先确定的扫描模式的扫描模式存储部，

上述控制部将应用了由上述操作部编辑后的关联参数的扫描模式作为原始扫描模式而存储于上述扫描模式存储部，在设定上述观察条件时，能够读出上述预先确定的扫描模式或上述原始扫描模式。

6.根据权利要求1所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述控制部读出与保存为电子文件的图像关联的附带信息所包含的观察条件，将与在上述附带信息所包含的观察条件下由上述电荷粒子光学系统照射到上述试料的每个像素的照射电子量有关的信息显示于上述观察辅助画面。

7.一种电荷粒子线装置的条件设定方法，其特征在于，

将包含设定电荷粒子线装置的观察条件的条件设定部和显示上述电荷粒子线装置的观察像的图像显示部的用户界面画面显示于显示器，

将包含与上述观察像的观察条件下的每个像素的照射电子量有关的信息的观察辅助画面显示于上述显示器，

接受来自操作部的指示，将与捕获上述观察像的图像捕获条件下的每个像素的照射电子量有关的信息显示于上述观察辅助画面，

作为与上述每个像素的照射电子量有关的信息，将每个像素的照射电子数、每单位长度的扫描的照射电子数、每单位面积的照射电子数中的至少任一个显示于上述观察辅助画面。

8.根据权利要求7所述的电荷粒子线装置的条件设定方法，其特征在于，

在上述观察辅助画面中，一并显示对上述观察像或捕获上述观察像而获取的捕获图像的画质有影响的关联参数，

针对显示在上述观察辅助画面上的关联参数，通过上述操作部接受编辑，

将与应用了由上述操作部编辑后的关联参数的情况下的观察条件下的每个像素的照射电子量有关的信息显示于上述观察辅助画面。

9.根据权利要求8所述的电荷粒子线装置的条件设定方法，其特征在于，

接受来自上述操作部的指示，进行应用了由上述操作部编辑后的关联参数的观察条件下的上述观察像的显示或上述捕获图像的获取。

10.根据权利要求8所述的电荷粒子线装置的条件设定方法，其特征在于，

将应用了由上述操作部编辑后的关联参数的扫描模式存储为原始扫描模式。