[发明专利]基板清洗装置

权利要求书

1.一种基板清洗装置，其特征在于，包括：

卡盘组件，接收和夹紧基板，卡盘组件包括卡盘，卡盘具有接收腔，该接收腔保持基板；

至少一个第一喷嘴，喷射液体到基板和卡盘的顶表面；以及

超声波或兆声波装置，设置在基板和卡盘的顶表面的上方以向基板提供超声波或兆声波清洗，超声波或兆声波装置和基板以及卡盘的顶表面之间形成有间隙，该间隙充分且持续地充满液体，因此在清洗过程中超声波或兆声波装置的整个底部始终充满液体。

2.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述卡盘组件包括：

旋转轴，与卡盘固定；

旋转驱动器，与旋转轴连接，驱动旋转轴及卡盘旋转；

支撑销，设置在卡盘的接收腔内，支撑基板；以及

夹具，安装在卡盘上，夹紧基板；

其中，超声波或兆声波装置设置在基板的顶表面及卡盘的顶表面的上方以向基板提供超声波或兆声波清洗，所述间隙形成在超声波或兆声波装置和基板的顶表面及卡盘的顶表面之间。

3.根据权利要求2所述的基板清洗装置，其特征在于，所述的旋转轴是中空的并固定在卡盘底部，卡盘底部设有通孔，该通孔与接收腔及旋转轴连通，第二喷嘴穿过卡盘的通孔及旋转轴以清洗基板的底表面。

4.根据权利要求3所述的基板清洗装置，其特征在于，所述的第二喷嘴具有至少一个液体通道，该液体通道从第二喷嘴的底端延伸到顶端并穿过第二喷嘴的顶端以向基板的底表面喷射液体。

5.根据权利要求4所述的基板清洗装置，其特征在于，对应于每一个液体通道，第二喷嘴的底端设有入口以向液体通道供应液体。

6.根据权利要求2所述的基板清洗装置，其特征在于，所述卡盘的底部设有多个排液孔，该多个排液孔与接收腔连通。

7.根据权利要求6所述的基板清洗装置，其特征在于，所述接收腔内的卡盘的底部设有倾斜面，该倾斜面有助于接收腔内的液体流至排液孔。

8.根据权利要求2所述的基板清洗装置，其特征在于，每个所述夹具都具有夹紧销，该夹紧销通过离心力夹紧基板。

9.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述接收腔的开口形状与基板的形状匹配。

10.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述基板为掩膜板且接收腔的开口形状是方形。

11.根据权利要求10所述的基板清洗装置，其特征在于，有四个夹具安装在卡盘上并位于接收腔的四个角。

12.根据权利要求11所述的基板清洗装置，其特征在于，每个所述夹具都具有夹紧销，夹紧销的顶端设有直角槽，用于夹紧掩膜板的角。

13.根据权利要求11所述的基板清洗装置，其特征在于，有四个支撑销安装在接收腔的四个角且对应四个夹具。

14.根据权利要求2所述的基板清洗装置，其特征在于，所述基板的顶表面和卡盘的顶表面位于同一平面。