[发明专利]信息处理装置

权利要求书

1.一种信息处理装置，具备控制装置，

所述控制装置具有：

取得部，按时间顺序取得表示向等离子体产生装置的多个电极供给的电流或者电压的指标值，所述等离子体产生装置通过所述多个电极间的放电而产生等离子体；

运算部，基于由所述取得部取得的所述指标值，运算与所述指标值的变化相关的数值即变化值；

存储部，存储预定的时机下由所述运算部运算出的所述变化值而作为特定变化值；

第一判断部，每当通过所述运算部运算所述变化值时，基于该变化值和所述特定变化值，判断运算该变化值时的电力供给状态是否为所述预定的时机下的电力供给状态；及

报告部，在由所述第一判断部判断为运算所述变化值时的电力供给状态为所述预定的时机下的电力供给状态的情况下，报告预定的信息，

所述信息处理装置包括判断由所述取得部取得的所述指标值是否满足设定条件的第二判断部，通过计数由所述第二判断部判断为所述指标值不满足所述设定条件的次数来运算计数值而作为所述变化值，

所述存储部存储所述预定的时机下由所述运算部作为所述变化值所运算出的所述计数值而作为特定计数值，

每当通过所述运算部作为所述变化值而运算所述计数值时，在该计数值为所述特定计数值以上的情况下，所述第一判断部判断为运算该变化值时的电力供给状态为所述预定的时机下的电力供给状态。

2.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，

所述信息处理装置具有接收通过用户操作而输入的输入信息的操作接收部，

所述预定的时机是与所述操作接收部接收到的所述输入信息相应的时机。

3.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，

所述信息处理装置具备连接部，该连接部与测定因等离子体照射而发生变化的物理特性的测定装置连接，

所述存储部与所述特定变化值建立关联地存储所述测定装置的测定值，

每当通过所述运算部运算所述变化值时，所述第一判断部基于该变化值、所述特定变化值及所述测定装置的测定值，判断运算该变化值时的电力供给状态是否为所述预定的时机下的电力供给状态。

4.根据权利要求2所述的信息处理装置，其中，

所述信息处理装置具备连接部，该连接部与测定因等离子体照射而发生变化的物理特性的测定装置连接，

所述存储部与所述特定变化值建立关联地存储所述测定装置的测定值，

每当通过所述运算部运算所述变化值时，所述第一判断部基于该变化值、所述特定变化值及所述测定装置的测定值，判断运算该变化值时的电力供给状态是否为所述预定的时机下的电力供给状态。

5.根据权利要求3所述的信息处理装置，其中，

所述测定装置包括测定光学特性因等离子体照射而发生变化的指示器的光学特性的装置。

6.根据权利要求4所述的信息处理装置，其中，

所述测定装置包括测定光学特性因等离子体照射而发生变化的指示器的光学特性的装置。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的信息处理装置，其中，

所述存储部与所述特定变化值建立关联地存储运算出该特定变化值的时间。

8.根据权利要求1～6中任一项所述的信息处理装置，其中，

所述指标值是向所述多个电极供给的电流的振幅和供电量中的至少一方。

9.根据权利要求7所述的信息处理装置，其中，

所述指标值是向所述多个电极供给的电流的振幅和供电量中的至少一方。

10.根据权利要求1～6中任一项所述的信息处理装置，其中，

所述控制装置具有向外部装置输出所述指标值和所述变化值的输出部。

11.根据权利要求7所述的信息处理装置，其中，

所述控制装置具有向外部装置输出所述指标值和所述变化值的输出部。

12.根据权利要求8所述的信息处理装置，其中，

所述控制装置具有向外部装置输出所述指标值和所述变化值的输出部。