[发明专利]带加热器的减压单元及电池制造用装置

说明书

本发明提供一种带加热器的减压单元(1)，其将涂敷有液状材料的基板(17)在减压处理室(4)内进行加热减压处理，其中，能够从下方支承位于减压处理室(4)内的基板(17)的多个支承销(16)立设固定在固定位置，并且多个支承销(16)分别插通在内置有加热器的加热板(12)上形成的多个贯通孔，将加热板(12)以能够升降的方式保持。

技术领域

本发明涉及在减压处理室内对在被涂敷物上涂敷液状材料而成的涂敷物进行加热减压处理的带加热器的减压单元及使用该带加热器的减压单元形成活性物质层或固体电解质层的电池制造用装置。

背景技术

众所周知，减压干燥处理为，以半导体晶片、FPD用玻璃基板、彩色滤光片用基板、太阳电池用基板、以及便携设备用基板等作为被涂敷物，在该被涂敷物上以涂敷装置涂敷液状材料，将该涂敷有的液状材料在减压处理室内干燥。

该减压干燥处理通过减压而使涂敷有的液状材料中的溶剂成分气化干燥，但由于减压干燥所需的时间长，因此近年来以更高效地进行减压干燥为目的，尝试使用与减压处理并行地进行加热处理的加热减压处理或实现实用化。

作为进行这样的加热减压处理的装置，例如专利文献1中公开了一种在减压处理室内载置晶片的载置部内置有加热器的带加热器的减压单元。

详细而言，在该文献的图6中示出了以下内容：为了对晶片(W)进行加热，在载置部(41)的表面附近埋设加热器(H)，将多个升降销(44) 插通于在该载置部(41)形成的多个贯通孔中，能够通过这些升降销(44) 从下方支承晶片(W)，并在载置部(41)的下方借助升降板(44a)通过升降部(44b)使这些升降销(44)升降。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-118007号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，根据上述专利文献1公开的带加热器的减压单元，从下方支承晶片的多个升降销(支承销)贯通载置部，因此，这些升降销很长。

尽管如此，使这些升降销升降不仅从结构角度来说不优选，而且考虑升降动作的稳定性也不优选。

而且，在通过这些升降销支承晶片时，由于这些升降销进行升降，因此也有损晶片支承的稳定性。

特别是，由于在该晶片的表面涂敷有抗蚀剂液且在该抗蚀剂液尚未干燥的状态下进行向升降销的交接后下降，因此，还可能导致其下降时抗蚀剂液在晶片上流动的致命问题。

基于以上观点，本发明的技术课题在于，提供一种在被涂敷物上涂敷液状材料而成的涂敷物的支承稳定性优异的带加热器的减压单元。

用于解决课题的方案

为了解决上述课题而提出的本发明是针对在被涂敷物上涂敷液状材料而成的涂敷物在减压处理室内进行加热减压处理的带加热器的减压单元，其特征在于，能够从下方支承位于所述减压处理室内的所述涂敷物的多个支承销立设固定在固定位置，并且所述多个支承销分别插通在内置有加热器的加热板上形成的多个贯通孔，将所述加热板以能够升降的方式保持。

根据这样的结构，由于是多个支承销立设固定在固定位置而供加热板升降的结构，因此在液状材料涂敷于被涂敷材料而成的涂敷物支承于多个支承销的期间，涂敷物不会升降。因此，不存在多个支承销妨碍涂敷物的支承稳定性的主要原因，不易发生未干燥的液状材料的不当流动等。

在该情况下，优选的是，构成为，在所述加热板下降时，所述涂敷物远离所述加热板而由所述支承销支承，在所述加热板上升时，所述涂敷物远离所述支承销而载置在所述加热板上。

这样，不仅涂敷物在由多个支承销支承的情况下稳定，在涂敷物载置在加热板上的情况下也能够维持稳定的支承。