[发明专利]激光装置和光学元件的制造方法

权利要求书

1.一种激光装置，其中，

所述激光装置具有光学元件，该光学元件由CaF₂晶体形成，紫外的激光倾斜地入射到所述光学元件的1个面并进行透射，在内部传播的所述激光相对于所述面的P偏振成分的电场轴和所述CaF₂晶体的111中包含的1个轴一致。

2.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

所述光学元件是平行平面基板。

3.根据权利要求2所述的激光装置，其中，

所述光学元件构成被配置在所述激光的光路上的腔的窗口。

4.根据权利要求2所述的激光装置，其中，

所述激光相对于所述光学元件的入射角在56.34±5°的范围内。

5.根据权利要求4所述的激光装置，其中，

所述光学元件的供所述激光入射的面的法线和111中包含的1个轴所成的角度在56.35±5°的范围内。

6.根据权利要求2所述的激光装置，其中，

所述光学元件构成被配置在所述激光的光路上的分束器。

7.根据权利要求6所述的激光装置，其中，

所述激光相对于所述光学元件的入射角在45±5°的范围内。

8.根据权利要求6所述的激光装置，其中，

所述光学元件的供所述激光入射的面的法线和111中包含的1个轴所成的角度在61.91±5°的范围内。

9.根据权利要求6所述的激光装置，其中，

所述激光装置包含功率监视器、监视器模块和光学脉冲展宽器中的至少一方，

所述分束器包含在所述功率监视器、所述监视器模块或所述光学脉冲展宽器中。

10.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

所述光学元件构成被配置在所述激光的光路上的棱镜。

11.根据权利要求10所述的激光装置，其中，

所述激光装置包含扩束器模块和窄带化模块中的至少一方，

所述棱镜包含在所述扩束器模块和所述窄带化模块中的至少一方中。

12.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

所述激光的波长包含在351nm～126nm的波段内。

13.一种激光装置，其中，

所述激光装置具有光学元件，该光学元件由CaF₂晶体形成，紫外的激光入射到所述光学元件的1个面并进行透射，

在内部传播的所述激光的偏振成分最多的偏振方向成分的电场轴和所述CaF₂晶体的111中包含的1个轴一致。

14.根据权利要求13所述的激光装置，其中，

所述光学元件构成被配置在所述激光的光路上的腔的窗口。

15.根据权利要求13所述的激光装置，其中，

所述激光装置包含输出耦合镜、后视镜、分束器和棱镜中的至少一方，

所述光学元件构成所述输出耦合镜、所述后视镜、所述分束器和所述棱镜中的至少一方。

16.根据权利要求13所述的激光装置，其中，

所述光学元件是平行平面基板，

所述激光垂直地入射到所述平行平面基板。

17.根据权利要求13所述的激光装置，其中，

所述激光倾斜地入射到所述光学元件的1个面，

所述电场轴是在所述光学元件的内部传播的所述激光相对于所述面的S偏振成分的电场轴。