[发明专利]取向特性测定方法、取向特性测定程序及取向特性测定装置

说明书

取向特性测定系统(1)具备：照射光学系统(5)，其朝向配置于透明性基板(S1)上的试样照射激发光；检测光学系统(11)，其引导自试样发出的荧光；光检测器(13)，其检测荧光；旋转机构(9)，其变更试样的荧光出射侧的面的垂线与检测光学系统(11)的光轴(L2)所成的角(φ)；及计算机(15)，其计算试样的取向参数(S)；计算机(15)具有：旋转机构控制部(32)，其控制旋转机构(9)；分布取得部(34)，其将光强度的角度依赖性分布标准化而取得光强度的角度依赖性分布；区域特定部(35)，其基于光强度的角度依赖性分布而特定出极大区域的光强度；及参数计算部(36)，其基于由试样的膜厚及折射率决定的线性关系及极大区域的光强度而计算取向参数(S)。

技术领域

本发明涉及一种取向特性测定方法、取向特性测定程序、及取向特性测定装置。

背景技术

近年来，由于利用有机EL(Electro Luminescence(电致发光))材料等的器件的高效率化，因而有机EL材料等的试样的分子取向的评估及控制的重要性日趋提高。在现有的评估方法中，通过比较与依赖于有机EL材料的分子的取向秩序的荧光光谱的p偏振光成分的角度依赖性特性相关的测定结果、以及该角度依赖性特性的模拟结果，而决定表示有机EL材料的面内分子取向秩序的取向参数(参照下述非专利文献1)。

现有技术文献

非专利文献

非专利文献1：Takeshi Komino、其他6名、“Electroluminescence fromcompletely horizontally oriented dye molecules”、APPLIED PHYSICS LETTERS 108，241106(2016)

发明内容

发明所要解决的问题

在上述非专利文献1记载的取向参数的决定方法中，为了决定取向参数而需要进行与角度依赖性特性相关的复杂的模拟计算。因此，有决定取向参数时的运算时间变长的倾向。

实施方式的目的在于提供一种取向特性测定方法、取向特性测定程序、及取向特性测定装置。

解决问题的技术手段

本发明的实施方式是取向特性测定方法。取向特性测定方法是使用具有规定的折射率且朝向以规定的膜厚配置于具有透光性的基板上的试样照射照射光的照射光学系统、对伴随着照射光的照射而自试样发出的检测光进行导光的检测光学系统、及检测检测光的光检测器而计算试样的取向参数的方法，所述取向特性测定方法具备：检测步骤，其一边变更试样的检测光的出射侧的面的垂线与检测光学系统的光轴所成的角，一边使用光检测器检测检测光而输出检测信号；取得步骤，其基于自检测信号取得的光强度的角度依赖性分布，以所成的角为0度的光强度，将所成的角为规定范围的光强度标准化，而取得经标准化的光强度的角度依赖性分布；特定步骤，其基于经标准化的光强度的角度依赖性分布，特定存在于光强度成为极小的角度与90度之间的极大区域的光强度；及计算步骤，其基于由规定的膜厚及规定的折射率决定的光强度及与取向参数关联的值之间的线性关系、以及极大区域的光强度，计算取向参数。