[发明专利]臭氧产生装置及臭氧产生装置用的电源装置在审

专利信息
申请号: 201780091588.8 申请日: 2017-09-19
公开(公告)号: CN110709351A 公开(公告)日: 2020-01-17
发明(设计)人: 村田隆昭;冲田裕二;桥本美智子;久保贵惠;饼川宏 申请(专利权)人: 株式会社东芝;东芝基础设施系统株式会社
主分类号: C01B13/11 分类号: C01B13/11
代理公司: 72002 永新专利商标代理有限公司 代理人: 戚宏梅
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 电介质电极 逆变器 臭氧产生器 交流电力 电抗器 放电 臭氧产生装置 开关元件接通 逆变器输出 冲击电流 断开切换 放电间隙 金属电极 开关元件 原料气体 直流电力 臭氧 断开 接通 施加 输出 转换
【说明书】:

实施方式的臭氧产生装置具有逆变器、臭氧产生器及电抗器。逆变器通过PWM(Pulse Width Modulation)控制使开关元件接通或断开,将直流电力转换为交流电力并输出。在臭氧产生器中,电介质电极被施加从逆变器输出的交流电力的电压,在流入该电介质电极与金属电极之间的放电间隙的原料气体中产生放电,通过该放电产生臭氧。电抗器与电介质电极串联连接,用于在通过逆变器中的PWM控制将开关元件从断开切换为接通时降低流过电介质电极的冲击电流。

技术领域

本发明的实施方式涉及臭氧产生装置及臭氧产生装置用的电源装置。

背景技术

臭氧产生装置是特殊的负载,因此由专用电源驱动。例如,臭氧产生装置用的电源装置将从作为工业电源的一例的三相电源供给的交流电力在转换器中转换为直流电力。接着,电源装置将从转换器输出的直流电力通过高频逆变器转换为高频的交流电力后,经由变压器向臭氧产生装置供给。

然而,在用等效电路表示的情况下,臭氧产生装置成为将表示电介质电极的静电电容和表示该电介质电极与金属电极之间的放电间隙的静电电容串联连接的电路。另外,放电间隙在施加于该放电间隙的放电间隙电压超过放电维持电压的情况下,在流入该放电间隙的原料气体内产生阻挡放电,通过该阻挡放电产生臭氧。而且,阻挡放电在用等效电路表示的情况下,具有恒压特性,在放电中,为了保持放电维持电压,用齐纳二极管表示。这样,臭氧产生装置成为电容性负载,因此为了使功率因数接近1,串联或并联连接绕组以抵消电容性负载。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2014-189455号公报

专利文献2:日本特开2014-090641号公报

专利文献3:日本特开2002-345263号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是,作为臭氧产生装置用的电源装置的高次谐波逆变器,在使用利用PWM(PulseWidth Modulation:脉冲宽度调制)控制将直流电力变换为交流电力的逆变器的情况下,由于将高次谐波逆变器所具有的开关元件从断开切换为接通时流过电介质电极的冲击电流,可能会导致放电间隙中的臭氧的产生变得不稳定。

用于解决课题的手段

实施方式的臭氧产生装置具有逆变器、臭氧产生器及电抗器。逆变器通过PWM(Pulse Width Modulation)控制使开关元件接通或断开,将直流电力转换为交流电力并输出。在臭氧产生器中,电介质电极被施加从逆变器输出的交流电力的电压,在流入该电介质电极与金属电极之间的放电间隙的原料气体中产生放电,通过该放电产生臭氧。电抗器与电介质电极串联连接,用于在通过逆变器中的PWM控制将开关元件从断开切换为接通时降低流过电介质电极的冲击电流。

附图说明

图1是表示第1实施方式的臭氧产生装置的结构的一例的图。

图2是表示第1实施方式的臭氧产生装置所具有的电源装置的结构的一例的图。

图3是用于说明由通用的VVVF逆变器进行的PWM控制的一例的图。

图4是表示通用的VVVF逆变器中的基本频率与载波频率的关系的一例的图。

图5是表示第2实施方式的臭氧产生装置中的基本频率与臭氧浓度的关系的一例的图。

图6是表示第2实施方式的臭氧产生装置的VVVF逆变器中的基本频率与载波频率的关系的一例的图。

图7是表示第3实施方式的臭氧产生装置中的基本频率与臭氧浓度的关系的一例的图。

具体实施方式

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