[发明专利]对基板作业系统

说明书

标记配置部件(80、82)配置有具有被设定了的相互位置关系的多个标记并跨供第一作业头(28a)移动的第一作业区域(R1)和供第二作业头(28b)移动的第二作业区域(R2)而设置，在对以跨上述两个区域的状态被保持的一个基板(S_L)进行作业时，根据(i)基于与第一作业头一起移动的第一拍摄装置(66a)的拍摄数据而测定出的存在于第一区域(R1)的标记的位置和(ii)基于与第二作业头一起移动的第二拍摄装置(66b)的拍摄数据而测定出的存在于第二区域(R2)的标记的位置，对在作业中第一作业头的应通过第一头移动装置而移动的位置和第二作业头的应通过第二头移动装置而移动的位置中的至少一方进行修正。

技术领域

本说明书公开具有作业头并通过该作业头对基板进行作业的对基板作业系统。

背景技术

下述专利文献1构成为，作为两个对基板作业机的元件安装机相邻地并列设置，能够通过这两个元件安装机各自具备的基板输送装置这两者对一个基板进行固定保持，并通过两个元件安装机各自具备的元件安装头这两者对该一个基板安装元件。也就是说，下述专利文献1记载有使用两个作业头对一个基板进行作业的对基板作业系统。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2004-39818号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在上述专利文献1记载的对基板作业系统中，为了对于一个基板使用两个作业头，需要使这两个作业头各自的动作协作。例如，需要掌握对两个作业头各自在基板上的位置进行控制的坐标系的关系。鉴于这样的实际情况，本申请课题在于在使用两个作业头对一个基板进行作业的对基板作业系统中，使这两个作业头的动作适当地协作。

用于解决课题的技术方案

为了解决上述课题，本说明书公开一种对基板作业系统，其构成为，具备标记配置部件，上述标记配置部件跨供第一作业头移动的第一作业区域和供第二作业头移动的第二作业区域而设置，并配置有具有被设定了的相互位置关系的多个标记，在对由基板保持装置以跨第一作业区域和第二作业区域的状态保持的一个基板进行作业时，根据(i)基于与第一作业头一起移动的第一拍摄装置的拍摄数据而测定出的存在于第一作业区域的标记的位置和(ii)基于与第二作业头一起移动的第二拍摄装置的拍摄数据而测定出的存在于第二作业区域的标记的位置，对在作业中第一作业头的应通过第一头移动装置而移动的位置和第二作业头的应通过第二头移动装置而移动的位置中的至少一方进行修正。

发明效果

本说明书公开的对基板作业系统跨两个作业头各自的作业区域地配置有标记配置部件，通过利用两个拍摄装置对处于被设定了的相互位置关系的多个标记的位置按照存在于各区域的标记来进行测定，从而能够掌握两个作业头的位置关系，能够优化对于一块基板的作业位置。

附图说明

图1是表示作为本实施例的对基板作业系统的元件安装系统的一部分的立体图。

图2是图1所示的元件安装机的侧视图。

图3是图1所示的元件安装机所具备的头移动装置的立体图。

图4是在图1所示的元件安装系统中表示元件安装机内的俯视图。

图5是表示配置于图4所示的标记板的标记的测定出的位置与推定出的位置之间的偏差的概念图。

具体实施方式

以下，参照附图来对一个实施例的对基板作业系统进行说明。另外，除了下述实施例以外，还能够以基于本领域技术人员的知识而实施了各种变更的方式实施。