[发明专利]用于形成电化学储能装置的部件的方法和处理系统及氧化腔室

权利要求书

1.一种用于形成电化学储能装置的部件的方法，包括：

在柔性基板(111)之上沉积陶瓷层(52)；以及

使所述陶瓷层(52)在升高的温度下处于氧化气氛。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述陶瓷层(52)是氧化铝层。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述氧化铝层以改善所述氧化铝层的化学计量的方式处于所述氧化气氛中。

4.如权利要求1至3的任一项所述的方法，其中所述电化学储能装置是锂离子电池。

5.如权利要求1至4的任一项所述的方法，其中所述部件是隔膜。

6.如权利要求1至4的任一项所述的方法，其中所述部件是电极。

7.如权利要求1至6的任一项所述的方法，其中所述升高的温度等于或大于50℃，特别是等于或大于60℃，特别是等于或大于80℃，且/或等于或小于180℃，特别是等于或小于120℃，特别是等于或小于100℃。

8.如权利要求1至7的任一项所述的方法，其中所述氧化气氛包含多于20体积％的氧。

9.如权利要求1至8的任一项所述的方法，进一步包括：

从第一滚轴(22)传送所述柔性基板(111)至第二滚轴(24)，在从所述第一滚轴(22)向所述第二滚轴(24)传送所述柔性基板(111)时形成所述陶瓷层(52)。

10.如权利要求9所述的方法，其中所述陶瓷层(52)在从所述第一滚轴(22)向所述第二滚轴(24)传送所述柔性基板(111)时处于氧化气氛。

11.一种用于形成电化学储能装置的部件的处理系统(100)，包括：

沉积模块(102)，被配置为用于在柔性基板(111)之上沉积陶瓷层(52)；以及

氧化模块(150)，被配置为使所述陶瓷层(52)在升高的温度下处于氧化气氛。

12.如权利要求11所述的处理系统，其中所述氧化模块(150)包括气体组件(151)及加热组件(154)，所述气体组件被配置为提供氧化气体，所述加热组件被配置为升高供应的所述氧化气体、所述柔性基板及所述陶瓷层的至少一者的温度。

13.如权利要求11或12所述的处理系统，进一步包括：

基板传送机构，包括第一滚轴(22)及第二滚轴(24)，所述基板传送机构被配置为从所述第一滚轴(22)沿着传送路径(P)传送所述柔性基板(111)至所述第二滚轴(24)，所述沉积模块(102)及所述氧化模块(150)沿着所述传送路径(P)布置。

14.一种氧化腔室，被配置为氧化电化学储能装置的部件的陶瓷层，所述氧化腔室包括：

基板传送机构，包括第一滚轴(222)及第二滚轴(224)，所述基板传送机构被配置为从所述第一滚轴(222)沿着传送路径(P’)传送柔性基板(111)至所述第二滚轴(224)，陶瓷层(52)形成于所述柔性基板(111)上；以及

氧化模块(150)，布置于所述第一滚轴(222)与所述第二滚轴(224)之间的所述传送路径(P’)，所述氧化模块(150)被配置为使所述陶瓷层(52)在升高的温度下处于氧化气氛。

15.如权利要求14所述的氧化腔室，进一步包括：

加热组件(154)，被配置为升高所述氧化腔室(200)、所述氧化气氛、所述柔性基板(111)及所述陶瓷层(52)的至少一者的温度。