[发明专利]质谱仪检测器及使用其的系统和方法有效
申请号: | 201780093081.6 | 申请日: | 2017-05-12 |
公开(公告)号: | CN110914952B | 公开(公告)日: | 2022-09-23 |
发明(设计)人: | 克里斯托弗·F·贝维斯;永曼·阿兰·柳;大卫·艾伦·里德;埃里·谢菲茨;阿米特·魏因加滕;亚历山大·卡德舍维特克 | 申请(专利权)人: | 诺威量测设备公司 |
主分类号: | H01J49/02 | 分类号: | H01J49/02;H01J49/40 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 梁小龙 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 质谱仪 检测器 使用 系统 方法 | ||
1.一种离子检测器,包括:
电子发射板,耦接至第一电势并且被配置为根据离子的入射而发射电子;
闪烁体,耦接至不同于所述第一电势的第二电势,所述闪烁体具有后侧和面向所述电子发射板的前侧,所述闪烁体被配置为在电子入射到前侧时从后侧发射光子;
管状的光导,光学地耦接至所述闪烁体的后侧并且限制从所述闪烁体的后侧发射的光子流;
光电倍增器,耦接至所述光导并且具有输出端,所述输出端被配置为输出与来自所述光导的光子的入射对应的电信号;
电子倍增器;
第一信号线,耦接至所述电子倍增器的倍增器电极;
数字事件计数器,被配置为接收来自所述第一信号线的输入并提供离散事件计数输出;
第二信号线,耦接至所述电子倍增器的集电极;
模拟积分器,被配置为接收来自所述第二信号线的输入,并且同时提供积分模拟输出和来自所述数字事件计数器的离散事件计数输出。
2.根据权利要求1所述的离子检测器,其中,所述光电倍增器包括固态光电倍增器。
3.根据权利要求2所述的离子检测器,其中,所述固态光电倍增器包括硅光电倍增器。
4.根据权利要求2所述的离子检测器,其中,所述固态光电倍增器包括雪崩光电二极管阵列,所述雪崩光电二极管阵列具有耦接在一起以提供单一电输出信号的输出端。
5.根据权利要求1所述的离子检测器,其中,所述管状的光导包括
将所述光子引导到所述光电倍增器上的反射面。
6.根据权利要求1所述的离子检测器,其中,所述光电倍增器耦接至所述管状的光导的后表面。
7.根据权利要求4所述的离子检测器,还包括:
第一信号线,耦接至所述光电倍增器;
数字事件计数器,被配置为接收来自所述第一信号线的输入并提供离散事件计数输出;
第二信号线,独立于所述第一信号线耦接至所述光电倍增器;
模拟积分器,被配置为接收来自所述第二信号线的输入,并且同时提供积分模拟输出和来自所述数字事件计数器的所述离散事件计数输出。
8.根据权利要求7所述的离子检测器,其中:
所述第一信号线耦接至所述光电倍增器的输入偏置线;并且,所述第二信号线耦接至所述光电倍增器的输出线。
9.根据权利要求8所述的离子检测器,还包括变压器,并且其中,所述第一信号线通过所述变压器耦接至所述输入偏置线。
10.根据权利要求8所述的离子检测器,还包括电容器,并且其中,所述第一信号线通过所述电容器耦接至所述输入偏置线。
11.根据权利要求7所述的离子检测器,还包括:
分接头,连接到所述电子发射板;以及
电流测量传感器,连接到所述分接头。
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