[发明专利]图案制造装置以及三维造型物制造装置在审

专利信息
申请号: 201780094141.6 申请日: 2017-11-14
公开(公告)号: CN111033383A 公开(公告)日: 2020-04-17
发明(设计)人: 大岛英司;登本一孝;佐久间彰夫 申请(专利权)人: 康达智株式会社
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;B33Y10/00;B33Y30/00
代理公司: 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 代理人: 金相允;魏彦
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 图案 制造 装置 以及 三维 造型
【说明书】:

本发明在各种尺寸的片上形成图案。一种图案制造装置,具有:形成部,向图案形成用片照射光线来形成图案;造型台,配置在形成部的上方,具有使光线穿过的第一开口部,并载置图案形成用片;支柱,安装造型台;转接件,设置于造型台,具有将第一开口部的一部分堵住并使光线穿过的第二开口部,且载置图案形成用片。

技术领域

本发明涉及一种图案制造装置。

背景技术

在上述技术领域中,专利文献1公开了一种在规定的大小的片上形成电路图案的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2006-319138号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是,通过在上述文献中记载的技术,无法在各种尺寸的片上形成图案。

本发明的目的在于,提供一种解决上述课题的技术。

用于解决问题的手段

为了达成上述目的,本发明的图案制造装置具有:

形成单元,向图案形成用片照射光线来形成图案;

造型台,配置在所述形成单元的上方,具有使所述光线穿过的第一开口部,并载置所述图案形成用片;

支柱,安装所述造型台;

转接件,设置于所述造型台,载置所述图案形成用片,并将所述图案形成用片定位于所述第一开口部上。

发明的效果

根据本发明,能够在各种尺寸的片上形成图案。

附图说明

图1是对本发明的第一实施方式的图案制造装置的结构进行说明的侧视立体图。

图2A是对本发明的第二实施方式的图案制造装置的整体结构进行说明的主视立体图。

图2B是对本发明的第二实施方式的图案制造装置的结构进行说明的局部放大侧视立体图。

图3A是对本发明的第二实施方式的图案制造装置所使用的转接件的使用例进行说明的立体图。

图3B是对本发明的第二实施方式的图案制造装置所使用的转接件的一个例子进行说明的图。

图3C是对本发明的第二实施方式的图案制造装置所使用的转接件的其他例子进行说明的图。

图3D是对本发明的第二实施方式的图案制造装置所使用的转接件的又一其他例子进行说明的图。

图4是对本发明的第二实施方式的图案制造装置所使用的图案形成片的图案形成面进行说明的俯视图。

图5是对通过本发明的第二实施方式的图案制造装置形成三维造型物时的整体结构进行说明的主视立体图。

图6是对通过本发明的第二实施方式的图案制造装置制造三维造型物的情况进行说明的图。

图7A是对本发明的第三实施方式的图案制造装置所使用的转接件的使用例进行说明的立体图。

图7B是对本发明的第三实施方式的图案制造装置所使用的转接件的例子进行说明的图。

具体实施方式

以下,参照附图,例示性地对本发明的实施方式进行详细的说明。但是,以下的实施方式所记载的结构、数值、处理流程、功能要素等仅为一个示例,可自由地对其进行变形或变更,而并非旨在将本发明的技术范围限定在以下所记载的范围内。

[第一实施方式]

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