[发明专利]离子铣削装置有效
| 申请号： | 201780094365.7 | 申请日： | 2017-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN111095474B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 金子朝子;高须久幸 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;H01J37/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘文海 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子 铣削 装置 | ||
1.一种离子铣削装置，其特征在于，
所述离子铣削装置具有：
腔室；
非磁性材料的试样台，其在所述腔室内载置试样；
遮蔽板，其载置于所述试样；以及
离子源，其以与所述试样台的上表面对置的方式配置，并照射离子束，
在所述试样台的上表面设置有将第一磁铁配置为能够装卸的非磁性材料的磁铁压板，并且在所述试样台配置有所述第一磁铁，所述试样载置于所述磁铁压板的上表面。
2.根据权利要求1所述的离子铣削装置，其特征在于，
在所述试样的侧方配置有第二磁铁。
3.根据权利要求2所述的离子铣削装置，其特征在于，
所述第一磁铁配置于所述试样台，且所述第二磁铁配置于所述试样的侧方。
4.根据权利要求1所述的离子铣削装置，其特征在于，
所述离子铣削装置具有将所述第一磁铁保持为能够装卸的保持架。
5.根据权利要求2所述的离子铣削装置，其特征在于，
所述离子铣削装置具备所述第二磁铁的移动机构。
6.根据权利要求1所述的离子铣削装置，其特征在于，
所述第一磁铁为永磁铁。
7.根据权利要求6所述的离子铣削装置，其特征在于，
所述永磁铁的最大磁力为300～400高斯程度。
8.根据权利要求1所述的离子铣削装置，其特征在于，
所述磁铁压板具有空腔，
在所述磁铁压板的空腔中，能够对所述第一磁铁的配置位置进行调整。
9.根据权利要求1所述的离子铣削装置，其特征在于，
所述试样台具有磁铁保持部，
通过拆下所述试样台的所述磁铁保持部，从而所述第一磁铁能够从所述试样台的下方卸下。
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