[发明专利]电荷粒子显微镜装置和广角图像生成方法

权利要求书

1.一种电荷粒子显微镜装置，其具备电荷粒子显微镜、图像处理部，其特征在于，

上述电荷粒子显微镜维持相邻的拍摄图像重叠的区域即重叠区域并拍摄多张拍摄图像，

就上述图像处理部而言，

在上述重叠区域中将对应点对设定在上述相邻的拍摄图像之间，

对每个上述拍摄图像设定规定的限制条件，

根据上述对应点对和上述限制条件，计算上述拍摄图像之间的相对位置偏差量，根据计算出的上述位置偏差量，修正上述拍摄图像之间的相对位置偏差并连接起来，由此生成一张广角图像，

在上述重叠区域中设定的多个局部区域中计算拍摄图像的连接的可靠度，

向用户通知上述可靠度低的上述局部区域或包含上述局部区域的重叠区域、上述设定好的对应点对和上述限制条件，

上述电荷粒子显微镜装置还具备：输入受理部，其受理上述对应点对和上述限制条件的变更，

就上述图像处理部而言，

根据上述可靠度显示，受理上述设定好的对应点对和上述限制条件中的一个以上的上述对应点对和上述限制条件的变更，

设定受理了变更的上述对应点对和上述限制条件，

根据变更后的上述对应点对和上述限制条件，计算拍摄图像之间的相对位置偏差量，根据计算出的上述位置偏差量，修正上述拍摄图像之间的相对位置偏差并连接起来，由此生成一张广角图像。

2.根据权利要求1所述的电荷粒子显微镜装置，其特征在于，

就上述图像处理部而言，

在根据变更后的上述对应点对和上述限制条件生成的上述广角图像的上述重叠区域中设定的上述局部区域中，再次计算上述拍摄图像的连接的可靠度，

向用户通知再次计算出的上述可靠度低的上述局部区域或包含上述局部区域的重叠区域、上述设定好的对应点对和上述限制条件。

3.根据权利要求1所述的电荷粒子显微镜装置，其特征在于，

上述图像处理部根据上述修正后的上述拍摄图像的倍率、旋转、畸变的修正程度中的至少一个，计算上述可靠度。

4.根据权利要求1所述的电荷粒子显微镜装置，其特征在于，

上述电荷粒子显微镜装置还具备：输出部，其生成显示到规定的输出装置的画面信息，

上述图像处理部经由上述输出部，显示受理用户删除上述设定好的对应点对和上述限制条件、或追加新的对应点对和限制条件的画面信息。

5.根据权利要求4所述的电荷粒子显微镜装置，其特征在于，

上述图像处理部经由上述输入受理部，针对上述拍摄图像，受理倍率、旋转、畸变的程度中的至少任意一个的追加作为限制条件的变更。

6.根据权利要求4所述的电荷粒子显微镜装置，其特征在于，

上述图像处理部经由上述输出部，显示成为上述用户追加的新的对应点对的候选的对应点对。

7.根据权利要求1所述的电荷粒子显微镜装置，其特征在于，

上述图像处理部确定上述局部区域的构造信息，根据所确定的上述构造信息，计算上述可靠度。

8.根据权利要求1所述的电荷粒子显微镜装置，其特征在于，

上述图像处理部显示上述可靠度低的因素。

9.根据权利要求8所述的电荷粒子显微镜装置，其特征在于，

上述图像处理部根据上述可靠度和上述可靠度低的因素，使所显示的内容不同。

10.一种电荷粒子显微镜装置的广角图像生成方法，其特征在于，上述电荷粒子显微镜装置进行以下的步骤：

维持相邻的拍摄图像重叠的区域即重叠区域并拍摄多张拍摄图像的步骤；

在上述重叠区域中将对应点对设定在上述相邻的拍摄图像之间的步骤；

对每个上述拍摄图像设定规定的限制条件的步骤；

根据上述对应点对和上述限制条件，计算上述拍摄图像之间的相对位置偏差量，根据计算出的上述位置偏差量，修正上述拍摄图像之间的相对位置偏差并连接起来，由此生成一张广角图像的步骤；

在上述重叠区域中设定的多个局部区域中计算拍摄图像的连接的可靠度的步骤；

向用户通知上述可靠度低的上述局部区域或包含上述局部区域的重叠区域、上述设定好的对应点对和上述限制条件的步骤，

上述广角图像生成方法还进行以下的步骤：

根据上述可靠度显示，受理上述设定好的对应点对和上述限制条件中的一个以上的上述对应点对和上述限制条件的变更的输入受理步骤；

设定受理了变更的上述对应点对和上述限制条件的步骤；

根据变更后的上述对应点对和上述限制条件，计算拍摄图像之间的相对位置偏差量，根据计算出的上述位置偏差量，修正上述拍摄图像之间的相对位置偏差并连接起来，由此生成一张广角图像的步骤。