[发明专利]用于分离临时接合的基底堆垛的装置和方法

权利要求书

1.一种用于分离临时接合的基底堆垛(23)的方法，所述方法包括：

借助于由激光器(5)发出的激光束(16,16')加载基底堆垛(23)的连接层(25)，和

在加载步骤期间探测在所述临时接合的基底堆垛(23)处反射和/或透射的激光器(5)的激光束(16,16',16r)，

其中所述加载步骤包括：

利用所述激光束(16,16')照亮所述连接层(25)的多个位置，

测量在所述照亮期间反射和/或透射的激光束(16,16',16r)，和

基于测量的结果确定用于加载所述连接层(25)的激光束(16,16')的强度轮廓以防止对基底堆垛(23)的损坏，

其中，在加载所述连接层(25)期间进行所述激光器(5)的参数的监控和/或匹配，

其中，为了使景深范围(28)在每个x-y位置处精确地对准在连接层(25)上，所述景深范围(28)的z位置借助于望远镜(9)中的至少一个可调整，所述望远镜(9)位于激光束(16)的束路径中。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在以所述激光束(16,16')在所述临时接合的基底堆垛(23)或参考基底堆垛处加载所述连接层(25)前，探测反射和/或透射的激光器(5)的激光束(16,16',16r)。

3.根据前述权利要求1至2中任一项所述的方法，其中，借助于经探测的激光束(16,16',16r)控制所述激光束(16,16')的束形状和/或强度轮廓。

4.根据前述权利要求1至2中任一项所述的方法，其中，所述连接层(25)的加载利用所述激光束(16,16')以扫描的方式实现。

5.根据前述权利要求1至2中任一项所述的方法，其中，经探测的激光束(16,16',16r)被评估和用于控制所述方法。

6.一种用于分离临时接合的基底堆垛(23)的装置，带有

-用于借助于由激光器(5)发出的激光束(16,16')加载所述基底堆垛(23)的连接层(25)的加载器件，和

-用于探测在临时接合的基底堆垛(23)和/或参考基底堆垛处反射和/或透射的激光器(5)的激光束(16,16',16r)的探测器件，

其中，所述加载器件包括：

照亮所述连接层(25)的多个位置的激光束(16,16')，

用于测量在所述照亮期间反射和/或透射的激光束(16,16',16r)的测量器件，和

用于基于测量的结果确定用于加载所述连接层(25)的激光束(16,16')的强度轮廓以防止对基底堆垛(23)的损坏的确定器件，

其中，在加载所述连接层(25)期间能够进行所述激光器(5)的参数的监控和/或匹配，

其中，为了使景深范围(28)在每个x-y位置处精确地对准在连接层(25)上，所述景深范围(28)的z位置借助于望远镜(9)中的至少一个可调整，所述望远镜(9)位于激光束(16)的束路径中。

7.根据权利要求6所述的装置，其中，用于探测在所述临时接合的基底堆垛(23)或参考基底堆垛处反射和/或透射的激光器(5)的激光束(16,16',16r)的探测器件在以所述激光束(16,16')加载所述连接层(25)前探测所述激光束(16,16')。

8.根据权利要求6至7中任一项所述的装置，其具有用于借助于经探测的激光束(16,16',16r)来控制所述激光束(16,16')的束形状和/或强度轮廓的控制设备。

9.根据权利要求8所述的装置，包括

-基座(2)，

-机架(3)，

-光学系统(26)，其用于影响所述激光束(16,16',16r)的束形状和/或束方向，和

-基底支架(22)，其用于容纳和固定所述基底堆垛(23)，其中所述基底堆垛相对于所述激光束(16,16')可运动。