[发明专利]基板搬运装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法、基板搬运方法以及曝光方法

权利要求书

1.一种基板搬运装置，将基板搬运至保持装置，且包括：

第一保持部，在所述保持装置的上方保持所述基板；

第二保持部，保持经所述第一保持部保持的所述基板的一部分；以及

驱动部，以所述第一保持部自所述保持装置的上方退避的方式，使所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部中的一者相对于另一者相对移动；且

所述保持装置、所述第一保持部及所述第二保持部在所述驱动部进行的相对移动中保持所述基板。

2.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其中所述驱动部以使所述第一保持部保持的所述基板的面积减少且使所述保持装置保持的所述基板的面积增加的方式，使所述第一保持部相对于所述物体相对移动。

3.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，其中所述驱动部以所述第一保持部与所述第二保持部的距离变大的方式使所述第一保持部移动，

所述保持装置保持所述基板中经所述第一保持部保持的区域与经所述第二保持部保持的区域之间的区域。

4.根据权利要求3所述的基板搬运装置，其中所述驱动部在所述第二保持部保持所述基板的一部分的状态下，使所述第一保持部以自所述保持装置的上方退避的方式向在上下方向上不与所述保持装置重叠的位置移动，

所述保持装置保持所述第一保持部的保持经解除的所述基板的区域。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板搬运装置，其中所述第二保持部向所述保持装置搬运所述基板的一部分。

6.根据权利要求5所述的基板搬运装置，其中所述驱动部使所述第一保持部相对于所述保持装置及所述第二保持部自所述第二保持部搬运所述基板的一部分的所述保持装置的一端侧向所述保持装置的另一端侧相对移动。

7.根据权利要求6所述的基板搬运装置，其中所述保持装置在所述保持装置的另一端侧保持所述基板的其他部分。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的基板搬运装置，其中所述第一保持部保持所述基板的一部分与所述保持装置的上下方向的距离较所述基板的其他部分与所述保持装置的距离更短的状态的所述基板。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的基板搬运装置，其中所述驱动部使所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部中的一者相对于另一者向沿着所述保持装置保持所述基板的保持面的方向相对移动。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的基板搬运装置，其中所述第一保持部在所述相对移动中，在所述保持装置的上方移动。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的基板搬运装置，其中所述第二保持部设于所述保持装置。

12.根据权利要求11所述的基板搬运装置，其中所述第二保持部设于所述保持装置的上表面。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的基板搬运装置，其中所述第二保持部在保持所述基板的一部分的状态下，调整所述基板相对于所述保持装置的位置。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的基板搬运装置，包括将与所述基板不同的其他基板自所述保持装置搬出的搬出装置，

所述搬出装置在所述驱动部进行的所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部与所述保持装置及所述第二保持部的相对移动中，搬出所述其他基板。

15.根据权利要求14所述的基板搬运装置，其中所述搬出装置使所述其他基板移动至上下方向上所述第一保持部与所述保持装置之间的位置。