[发明专利]基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法

说明书

为了缩短基板更换所耗时间而提供一种基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法。基板搬运装置(100A)，向可保持基板(P2)的保持装置的保持面(TS)搬运基板(P2)。基板搬运装置(100A)包括：第一保持部(161A)，具有在保持装置上方保持基板(P2)的基板保持面；第二保持部(184a)，在上下方向保持面(TS)与基板保持面之间的位置，保持经第一保持部(161A)保持的基板(P2)的一部分；驱动部(164)，以第一保持部(161A)自保持装置上方退避的方式，在第二保持部(184a)保持基板(P2)的一部分的状态下，使保持装置及第二保持部(184a)与第一保持部(161A)相对移动。

技术领域

本发明涉及一种基板搬运装置、曝光装置、平板显示器(flat panel display)的制造方法、元件制造方法、基板搬运方法以及曝光方法。

背景技术

在制造液晶显示器件、半导体器件等电子元件的光刻步骤中，一直使用曝光装置，所述曝光装置利用能量束将形成于掩模(或光掩模(reticle))的图案转印至基板(由玻璃或塑料等构成的基板、半导体晶片(wafer)等)上。

此种曝光装置中，进行保持基板的平台装置上的经曝光基板的搬出、及新基板向平台装置上的搬入。关于基板的搬运方法，例如专利文献1所记载的方法为已知。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2013/150787号

发明内容

根据第一实施方式，提供一种基板搬运装置，其向可保持基板的保持装置的保持面搬运所述基板，且包括：第一保持部，具有在所述保持装置的上方保持所述基板的基板保持面；第二保持部，在上下方向上所述保持面与所述基板保持面之间的位置，保持经所述第一保持部保持的所述基板的一部分；以及驱动部，以所述第一保持部自所述保持装置的上方退避的方式，在所述第二保持部保持所述基板的所述一部分的状态下，使所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部相对移动。

根据第二实施方式，提供一种曝光装置，其包括：所述基板搬运装置；以及光学系统，对经搬运至所述保持装置的所述基板照射能量束，对所述基板进行曝光。

根据第三实施方式，提供一种平板显示器制造方法，其包括：使用所述曝光装置对基板进行曝光；以及对经所述曝光的所述基板进行显影。

根据第四实施方式，提供一种元件制造方法，其包括：使用所述曝光装置对基板进行曝光；以及对经所述曝光的所述基板进行显影。

根据第五实施方式，提供一种基板搬运方法，向可保持基板的保持装置的保持面搬运所述基板，且包括：在所述保持装置的上方，通过第一保持部及第二保持部而保持所述基板；以及以所述第一保持部自所述保持装置的上方退避的方式，在所述第二保持部保持所述基板的一部分的状态下，使所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部相对移动，其中，所述第二保持部是在上下方向上所述保持面与所述基板保持面之间的位置，保持经所述第一保持部保持的所述基板的一部分。

根据第六实施方式，提供一种曝光方法，其包括：通过所述基板搬运方法向所述保持装置搬运所述基板；以及对所述基板照射能量束，对所述基板进行曝光。

根据第七实施方式，提供一种平板显示器制造方法，其包括：使用所述曝光方法对所述基板进行曝光；以及对经所述曝光的所述基板进行显影。

根据第八实施方式，提供一种元件制造方法，其包括：使用所述曝光方法对所述基板进行曝光；以及对经所述曝光的所述基板进行显影。

再者，也可将下述实施方式的构成适当改良，另外，也可将至少一部分代替为其他构成物。进而，对其配置并无特别限定的构成要件，不限于实施方式所公开的配置，可配置于可达成其功能的位置。

附图说明