[发明专利]显示装置及其制造方法

说明书

在边框区域(F)的弯折部(B)处，在构成TFT层的至少一层的无机绝缘膜中形成贯穿该无机绝缘膜而使树脂基板(10)的上表面露出的开口部(A)，边框配线(12ea)设置在从开口部(A)露出的树脂基板(10)上，构成TFT层的至少一层的无机绝缘膜中的与树脂基板(10)的上表面接触的无机绝缘膜由氮氧化硅膜形成。

技术领域

本发明涉及一种显示装置及其制造方法。

背景技术

近年来，作为代替液晶显示装置的显示装置，使用了有机电致发光(electroluminescence，EL)元件的自发光型的有机EL显示装置已受到关注。在该有机EL显示装置中，已提出了在具有可挠性的树脂基板上形成有机EL元件等的柔性有机EL显示装置。此处，在有机EL显示装置中设置有进行图像显示的矩形状的显示区域，在该显示区域的周围设置有边框区域，且迫切需要缩小边框区域。而且，对于柔性有机EL显示装置，例如若通过弯折端子侧的边框区域来缩小边框区域，则配置于该边框区域的配线有可能会断裂。

例如，在专利文献1中公开了如下柔性显示装置，其通过形成弯曲孔，去除与弯曲区域对应的缓冲膜、栅极绝缘膜及层间绝缘膜各自的一部分，从而防止配线断裂。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2014-232300号公报

发明内容

本发明所要解决的技术问题

但是，在柔性有机EL显示装置中，因为在树脂基板上设置有底涂膜、栅极绝缘膜及层间绝缘膜等无机绝缘膜，所以为了抑制配置于边框区域的配线的断裂，有时通过干式蚀刻去除边框区域的弯折部的无机绝缘膜，抑制弯折部的无机绝缘膜的破裂。此处，若考虑在边框区域的弯折部的无机绝缘膜已被去除的部分形成的用于形成配线的金属膜的包覆性，则优选尽可能减小无机绝缘膜已被去除的部分的端面相对于树脂基板表面的角度(锥角)。另外，在用作无机绝缘膜的材料中，尽管与氮化硅膜相比，氧化硅膜能够减小锥角，但因为与由光阻中的氧引起的等离子发光重叠，所以导致难以检测出干式蚀刻的结束点。因此，减小无机绝缘膜的端面的锥角、与切实地检测出无机绝缘膜的干式蚀刻的结束点这两者处于折衷选择关系。

本发明是鉴于所述方面而成的发明，其目的在于切实地检测出无机绝缘膜的干式蚀刻的结束点，并且减小无机绝缘膜的端面的锥角。

解决问题的方案

为了实现所述目的，本发明的显示装置包括：树脂基板；发光元件，其构成隔着TFT层而设置在所述树脂基板上的显示区域；边框区域，其设置在所述显示区域的周围；端子部，其设置在所述边框区域的端部；弯折部，其设置在所述显示区域及端子部之间；边框配线，其设置于所述边框区域，电连接于所述发光元件并延伸至所述端子部；以及至少一层的无机绝缘膜，设置于所述边框区域，且构成层叠于所述树脂基板上的所述TFT层，所述显示装置的特征在于：在所述弯折部处，在所述至少一层的无机绝缘膜中形成贯穿所述无机绝缘膜而使所述树脂基板的上表面露出的开口部，所述边框配线设置在从所述开口部露出的所述树脂基板上，所述至少一层的无机绝缘膜中的与所述树脂基板的上表面接触的无机绝缘膜由氮氧化硅膜形成。

有益效果

根据本发明，构成TFT层的至少一层的无机绝缘膜中的与树脂基板的上表面接触的无机绝缘膜由氮氧化硅膜形成，因此，能够切实地检测出无机绝缘膜的干式蚀刻的结束点，并且减小无机绝缘膜的端面的锥角。

附图说明

图1是表示本发明第一实施方式的有机EL显示装置的概略结构的平面图。

图2是表示沿着图1中的II-II线的有机EL显示装置的显示区域的概略结构的剖视图。

图3是表示构成本发明第一实施方式的有机EL显示装置的TFT层的等效电路图。