[发明专利]基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法

权利要求书

1.一种基板搬运装置，将基板搬运至保持装置的保持面，且包括：

第一保持部，在所述保持装置的上方保持所述基板；

第二保持部，保持经所述第一保持部保持的所述基板的一部分；以及

驱动部，以所述第一保持部自所述保持装置的上方退避的方式，使所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部向沿着所述保持面的既定方向进行相对移动；并且

所述第一保持部在所述驱动部进行的相对移动中，以所述基板中经所述第一保持部保持的区域的上下方向的位置靠近所述保持装置的方式保持所述基板，

其中所述驱动部在所述保持装置的上方使所述第一保持部相对于所述保持装置进行相对移动，且

所述驱动部在所述第二保持部保持所述基板的一部分的状态下，使所述第一保持部以自所述保持装置的上方退避的方式向在所述上下方向上不与所述保持装置重叠的位置移动。

2.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其中所述第一保持部保持所述基板，所述基板的所述一部分与所述保持面的距离较所述基板的其他部分与所述保持面的距离更短。

3.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，其中所述驱动部使所述第一保持部相对于所述保持装置及所述第二保持部，自所述第二保持部搬运所述基板的一部分的所述保持装置的一端侧向所述保持装置的另一端侧进行相对移动。

4.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，其中所述保持装置通过所述驱动部进行的相对移动而保持所述第一保持部的保持经解除的所述基板的区域。

5.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，其中所述第一保持部在所述驱动部进行的相对移动中，保持所述基板中经所述第一保持部保持的区域的所述既定方向的位置变化的所述基板。

6.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，其中所述第二保持部设于所述保持装置。

7.根据权利要求6所述的基板搬运装置，其中所述第二保持部设于所述保持面。

8.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，其中所述第二保持部在保持所述基板的一部分的状态下，调整所述基板相对于所述保持装置的位置。

9.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，包括将与所述基板不同的其他基板自所述保持装置搬出的搬出装置，

所述搬出装置在所述驱动部进行的所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部的相对移动中，搬出所述其他基板。

10.根据权利要求9所述的基板搬运装置，其中所述搬出装置使所述其他基板在上下方向上所述第一保持部与所述保持装置之间的位置移动。

11.根据权利要求9所述的基板搬运装置，其中所述搬出装置设于所述第一保持部，

所述驱动部使所述第一保持部相对于所述第二保持部及所述保持装置相对移动，并且使所述搬出装置移动。

12.根据权利要求9所述的基板搬运装置，其中所述保持装置具有供给使所述其他基板上浮的气体的吸气孔，

所述搬出装置使在所述保持装置上经上浮的所述其他基板沿着所述保持装置的保持面移动。

13.一种曝光装置，包括：

如权利要求1至12中任一项所述的基板搬运装置；以及

光学系统，对经搬运至所述保持装置的所述基板照射能量束，对所述基板进行曝光。

14.根据权利要求13所述的曝光装置，其中所述基板的至少一边的长度或对角长度为500mm以上，且为平板显示器用。

15.一种平板显示器制造方法，包括：

使用如权利要求14所述的曝光装置对基板进行曝光；以及

对经所述曝光的所述基板进行显影。