[发明专利]蒸镀掩模及蒸镀掩模的制造方法

说明书

掩模片(15)上所形成的有效部(YA)中的第一区域(YA1)针对被蒸镀基板的每个有源区域(3)而设且形状与有源区域(3)对应，有效部(YA)的第二区域(YA2)位于第一区域(YA1)外，并由支撑条(13)遮蔽多个蒸镀孔(H)。

技术领域

本发明涉及一种蒸镀掩模及蒸镀掩模的制造方法。

背景技术

如专利文献1中的记载所述，在有机EL显示装置中，当要对各像素图案化形成发光层时，采用蒸镀掩模。

制作蒸镀掩模时，如图18的箭头F4所示，将短条状的多个掩模片115的两端部朝外拉伸(拉伸)，使两端部附近熔接于掩模框架。

掩模片115上形成有多个有效部YAZ。有效部YAZ是由用于对于被蒸镀基板的每个像素蒸镀出蒸镀层的多个蒸镀孔并排形成的区域。

图18的示例中，有效部YAZ的形状与被蒸镀基板的有源区域对应。

这样，掩模片115的有效部YAZ形成有与像素对应的多个蒸镀孔，因此，尤其要求掩模片115相对于掩模框架的相对位置具有高精度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本公开专利公报“特开2012-132096号”

发明内容

本发明所要解决的技术问题

掩模片115中的有效部YAZ的形成区域中，多个蒸镀孔形成为网孔状，因此，刚性比有效部YAZ外的区域弱。

因此，若为了将掩模片115安装于掩模框架而将掩模片115的两端朝外拉伸，则掩模片115中的有效部YAZ的中心附近115b的宽度W115b容易变得比有效部YAZ间的区域115a的宽度W115a更窄。

这样，当拉伸掩模片115时，掩模片115内产生应力不均，因此，蒸镀孔与掩模框架的相对位置的精度变差，结果，存在图案化形成蒸镀层的位置精度变差的问题。

本发明是鉴于所述的现有问题而完成的，其目的在于提供一种能高精度地图案化形成蒸镀层的蒸镀掩模。

解决问题的方案

为了解决所述问题，本发明的一方面中的蒸镀掩模是用于在设有供有助于显示的像素排列的多个有源区域的被蒸镀基板的该像素上蒸镀出蒸镀层的多个蒸镀掩模，该蒸镀掩模的特征在于，具有：掩模片，设有有效部，该有效部中以横跨所述多个有源区域的方式并排形成有多个蒸镀孔；及多个支撑条(howling sheet)，支撑所述掩模片；所述有效部包含第一区域及第二区域；所述第一区域具有与所述有源区域对应的形状并针对每个该有源区域而设；所述第二区域规定所述第一区域的形状，并通过与所述支撑条重叠而遮蔽所述多个蒸镀孔中的一部分蒸镀孔。

为了解决所述问题，本发明的一方面中的蒸镀掩模的制造方法是用于在设有供有助于显示的像素排列的多个有源区域的被蒸镀基板的该像素上蒸镀出蒸镀层的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，具有：蒸镀孔形成工序，在掩模片上，通过形成多个蒸镀孔而以横跨多个所述有源区域的方式设置有效部；支撑条安装工序，将多个支撑条安装于掩模框架；及掩模片安装工序，将所述掩模片以与多个支撑条重叠并由该多个支撑条支撑的方式安装于所述掩模框架，由此，在所述有效部设置第一区域、第二区域；所述第一区域具有与所述有源区域对应的形状，且是针对每个该有源区域而设；所述第二区域规定所述第一区域的形状，并与所述支撑条重叠，由此，遮蔽所述多个蒸镀孔中的一部分蒸镀孔。

发明效果

根据本发明的一方面，具有可提供能高精度地图案化形成蒸镀层的蒸镀掩模的效果。

附图说明

图1是表示实施方式1的有机EL显示面板的制造工序的图。