[发明专利]压力传感器

说明书

压力传感器(100)具备：隔膜(2)，其承受压力而位移；第一受压部(3)，其被隔膜(2)按压而产生形变；第二受压部(4)，其在第一受压部(3)的形变成为规定值以上时，与该第一受压部(3)一起被隔膜(2)按压而产生形变；第一形变计(5)，其安装于第一受压部(3)而检测该该第一受压部(3)的形变；以及放大器单元(6)，其基于第一受压部(3)的形变来计算作用于隔膜(2)的压力。

技术领域

本发明涉及压力传感器。

背景技术

在日本实开平7-29436号公报中，公开了一种使用形变计检测内燃机的缸内压力的缸内压力检测装置。

发明内容

然而，关于使用了形变计的压力传感器，存在若提高测量范围的上限则低压区域中的测量精度恶化这样的问题点。

本发明着眼于上述那样的问题点而提出，其目的在于，在维持低压区域中的测量精度的同时，提高测量范围的上限。

为了解决上述课题，本发明的某一方式的压力传感器具备：隔膜，其承受压力而位移；第一受压部，其被隔膜按压而产生形变；第二受压部，其在第一受压部的形变成为规定值以上时，与该第一受压部一起被所述隔膜按压而产生形变；第一形变计，其安装于第一受压部而检测该第一受压部的形变；以及放大器单元，其基于第一受压部的形变来计算作用于隔膜的压力。

根据本发明的该方式的压力传感器，能够在维持低压区域中的测量精度的同时，提高测量范围的上限。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的压力传感器的概要立体图。

图2是沿着图1的II-II线的压力传感器的概要剖视图。

图3是第一受压部的垂直形变成为规定值以上后的压力传感器的概要剖视图。

图4是示出作用于本发明的第一实施方式的压力传感器的隔膜的压力(测量对象流体的压力)与第一受压部中产生的垂直形变的关系的图。

图5是对本发明的第一实施方式的测量对象流体的压力P的计算方法进行说明的流程图。

图6是用于基于第一受压部的垂直形变来计算测量对象流体的压力的图表。

图7是对本发明的第二实施方式的测量对象流体的压力的计算方法进行说明的流程图。

图8是本发明的第三实施方式的压力传感器的概要立体图。

图9是沿着图8的IX-IX线的压力传感器的概要剖视图。

图10是对本发明的第三实施方式的测量对象流体的压力的计算方法进行说明的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式详细进行说明。需要说明的是，在以下的说明中，对相同的构成要素标注相同的附图标记。

(第一实施方式)

图1是本发明的第一实施方式的压力传感器100的概要立体图。图2是沿着图1的II-II线的压力传感器100的概要剖视图。

如图1以及图2所示，本实施方式的压力传感器100具备壳体1、隔膜2、第一受压部3、第二受压部4、形变计5、以及放大器单元6，并检测气体、液体等测量对象流体的压力。

壳体1是在轴向一端侧(图中上侧)具有开口部的框体。

隔膜2以覆盖壳体1的开口部的方式安装于壳体1。隔膜2在其表面承受测量对象流体的压力P，而向轴向另一端侧(图中下侧)位移。

第一受压部3是相对于壳体1的轴向大致平行地延伸的物体，并以在隔膜2从测量对象流体承受了压力P时经由隔膜2被测量对象流体按压而产生垂直形变的方式收容于壳体1的内部。