[发明专利]等离子体用电源装置、等离子体装置及等离子体用电源装置的控制方法

说明书

等离子体用电源装置具有交流电源及控制部，交流电源生成经由电源线束向一对电极施加的预定频率的交流电压，该电源线束为了使布线长变化而一部分乃至全部能够更换且具有挠性，控制部以所述电源线束越长则频率越低的方式设定所述交流电源的所述预定频率。

技术领域

本说明书涉及向一对电极施加交流电压的等离子体用电源装置、等离子体装置及等离子体用电源装置的控制方法。

背景技术

已知通过在原料气体中放电来产生等离子体的等离子体装置。等离子体装置是通过向分离的一对电极施加由等离子体用电源装置生成的交流电压来对气体进行等离子体化的装置。等离子体装置广泛应用于固体材料的表面加工、清洗、粘接等工业用、杀菌、空气净化等环境保护用、医疗用等。开发的最初，等离子体装置使用真空泵将原料气体设为低气压(负压)，使放电稳定化来实现等离子体的品质维持。近年来，使用大气压的原料气体的大气压等离子体装置被实际应用，以使获得高的等离子体密度。这种等离子体装置的一技术例在专利文献1中公开。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-174736号公报

专利文献2：日本特开2008-293925号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，如上述那样，等离子体装置为了在各种用途应用，希望以按照用途使产生等离子体的电极能够移动的方式使将电极与等离子体用电源装置之间连接的电源线束的长度变化。

电源线束因为连接交流电源，所以希望采用同轴电缆，但是为了实现电极的移动，采用缺乏挠性的同轴电缆比较困难。

本说明书的公开是鉴于上述实际情况而完成的，要解决的课题为，提供通过挠性优异的电源线束与电极连接使用的等离子体用电源装置、具备该等离子体用电源装置的等离子体装置以及等离子体用电源装置的控制方法。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本说明书公开一种等离子体用电源装置，具有：交流电源，生成经由无屏蔽的电源线束向产生等离子体的一对电极施加的预定频率的交流电压；及控制部，以所述电源线束越长则频率越低的方式设定所述交流电源的所述预定频率。

为了解决上述课题，本说明书公开了一种等离子体装置，供上述的等离子体用电源装置使用，通过使所述电源线束弯曲，所述一对电极能够相对于所述交流电源相对移动。

为了解决上述课题，本说明书公开了一种等离子体用电源装置的控制方法，控制具有交流电源的等离子体用电源装置，所述交流电源生成经由无屏蔽的电源线束向产生等离子体的一对电极施加的预定频率的交流电压，等离子体用电源装置的控制方法具有如下的工序：以所述电源线束越长则频率越低的方式设定所述交流电源的所述预定频率。

发明效果

根据在本说明书中公开的等离子体用电源装置，以即使电源线束的长度变化也能够形成相同程度的等离子体能力的方式供给电源。

根据在本说明书中公开的等离子体装置，即使电源线束的长度变化也能够形成相同程度的等离子体能力。

根据在本说明书中公开的等离子体用电源装置的控制方法，能够以即使电源线束的长度变化也能够形成相同程度的等离子体能力的方式供给电源。

附图说明

图1是示意性地示出构成实施方式的等离子体装置的实施方式的等离子体用电源装置及主体部的图。

图2是例示脉冲宽度调制电源的电路结构的电路图。

图3是说明电源线束比通常情况A长的情况B的电压的上升变慢的示意图。