[发明专利]带电粒子束装置以及使用了其的试样观察方法

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，其中，具有：

电磁波产生源，产生供照射到试样的电磁波；

带电粒子光学系统，包含脉冲化机构，供汇集带电粒子束而照射到所述试样；

检测器，检测由于所述带电粒子束和所述试样的相互作用而被放出的放出电子；

第1照射控制部，控制所述电磁波产生源，使脉冲电磁波照射到所述试样而生成激发载流子；

第2照射控制部，控制所述脉冲化机构，将脉冲带电粒子束照射到所述试样的电磁波照射区域；以及

定时控制部，

所述定时控制部将基于所述检测器的所述放出电子的检测与所述脉冲带电粒子束的照射同步进行，并且控制所述第1照射控制部和所述第2照射控制部，控制对所述电磁波照射区域的所述脉冲电磁波和所述脉冲带电粒子束的间隔时间，

所述定时控制部控制所述第1照射控制部和所述第2照射控制部，以使针对1次所述脉冲电磁波的照射，进行多次所述脉冲带电粒子束的照射，

所述试样是由分别具有固有的荧光波长的多个荧光体染色后的试样，

所述带电粒子束装置具有信号分析系统，其分析来自所述检测器的信号，

所述信号分析系统求得由所述检测器检测的放出电子量对于所述间隔时间的变化，基于所述荧光体的载流子时间常数而确定所述荧光体。

2.如权利要求1所述的带电粒子束装置，其中，

具有图像处理系统，其根据来自所述检测器的信号而形成图像并进行显示，

所述定时控制部控制所述第1照射控制部和所述第2照射控制部，以使从所述脉冲电磁波的照射起以第一间隔时间照射第一脉冲带电粒子束，从所述脉冲电磁波的照射起以与所述第一间隔时间不同的第二间隔时间照射第二脉冲带电粒子束，

所述图像处理系统形成基于所述第一脉冲带电粒子束的照射的第一图像和基于所述第二脉冲带电粒子束的照射的第二图像。

3.如权利要求2所述的带电粒子束装置，其中，

所述第二脉冲带电粒子束的照射位置被设为从所述第一脉冲带电粒子束的照射位置隔开了多个像素间隔的位置。

4.如权利要求1～3的任1项所述的带电粒子束装置，其中，

所述电磁波从X射线、紫外线、可视光线、红外线的其中一个被选择。

5.一种试样观察方法，通过带电粒子束装置来观察试样，其中，

对所述试样照射脉冲电磁波，

在所述脉冲电磁波的照射区域，针对1次所述脉冲电磁波的照射，照射间隔时间不同的多次脉冲带电粒子束，

与所述脉冲带电粒子束的照射同步，检测由于所述脉冲带电粒子束和所述试样的相互作用而被放出的放出电子，

求得所检测的所述放出电子的放出电子量对于所述间隔时间的变化，

所述试样是由荧光体染色后的试样，

根据所述放出电子量对于所述间隔时间的变化，基于荧光体的载流子时间常数，确定所述荧光体。

6.一种试样观察方法，通过带电粒子束装置来观察试样，其中，

对所述试样照射脉冲电磁波，

在所述脉冲电磁波的照射区域，针对1次所述脉冲电磁波的照射，照射间隔时间不同的多次脉冲带电粒子束，

与所述脉冲带电粒子束的照射同步，检测由于所述脉冲带电粒子束和所述试样的相互作用而被放出的放出电子，

求得所检测的所述放出电子的放出电子量对于所述间隔时间的变化，

所述试样是由多个荧光体染色后的试样，

基于与所述间隔时间不同的多次脉冲带电粒子束的各个同步而被检测到的放出电子，制成多个图像，

根据伴随所述间隔时间的变化的所述多个图像中的对比度的变化，确定所述多个荧光体的各个染色的地点。