[发明专利]MEMS麦克风系统和方法

权利要求书

1.一种微机电系统（MEMS）麦克风，包括：

基座单元；

设置在所述基座单元上的驱动系统，所述驱动系统包括：

第一膜片；

与所述第一膜片间隔开的第二膜片；

包括移动电极构件的梳齿反电极组件，所述反电极组件机械地联接到所述第一膜片和所述第二膜片；以及

侧壁，所述侧壁将所述第一膜片机械地联接到所述第二膜片，从而限定密封的电极区域；

其中，所述密封的电极区域具有封装的气体压力，并且所述梳齿反电极组件设置在所述密封的电极区域内。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中，所述第一膜片基本上由具有低导电性的材料制成，并且所述第二膜片基本上由具有低导电性的材料制成。

3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中，所述移动电极构件基本上由具有导电性的材料制成。

4.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其中，所述膜片中的一个或多个基本上由具有拉伸残余应力的材料制成。

5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中，所述梳齿反电极组件包括具有拉伸残余应力的材料。

6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，还包括将所述反电极组件机械地联接到所述第一膜片和所述第二膜片的连接构件。

7.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，还包括形成在所述驱动系统内的一个或多个柱。

8.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，还包括形成在所述柱或所述连接构件中的至少一者上的泄漏孔。

9.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其中，所述梳齿反电极组件包括形成在所述密封的电极区域内的至少两个反电极。

10.一种用于微机电系统（MEMS）麦克风的驱动系统，包括：

电极组件，所述电极组件包括：

第一膜片；

与所述第一膜片间隔开的第二膜片；以及

形成在所述第一膜片和所述第二膜片之间的间隙；

形成在所述第一膜片和所述第二膜片内的梳齿反电极组件，所述梳齿反电极组件包括：

移动电极构件；

至少两个反电极构件；以及

侧壁，所述侧壁将两个反电极构件机械地联接到所述第一膜片和所述第二膜片，从而限定密封的电极区域；

其中，所述密封的电极区域具有封装的气体压力，并且所述梳齿反电极组件设置在所述密封的电极区域内。

11.根据权利要求10所述的驱动系统，其中，所述第一膜片基本上由具有低导电性的材料制成，并且所述第二膜片基本上由具有低导电性的材料制成。

12.根据权利要求10所述的驱动系统，其中，所述移动电极构件基本上由具有导电性的材料制成。

13.根据权利要求11所述的驱动系统，其中，所述膜片中的一个或多个基本上由具有拉伸残余应力的材料制成。

14.根据权利要求10所述的驱动系统，其中，所述梳齿反电极组件包括具有拉伸残余应力的材料。

15.根据权利要求10所述的驱动系统，还包括将所述反电极组件机械地联接到所述第一膜片和所述第二膜片的连接构件。

16.根据权利要求15所述的驱动系统，还包括形成在所述驱动系统内的一个或多个柱。

17.根据权利要求16所述的驱动系统，还包括形成在所述柱或所述连接构件中的至少一者上的泄漏孔。

18.根据权利要求14所述的驱动系统，其中，所述梳齿反电极组件包括形成在所述密封的电极区域内的至少两个反电极。