[发明专利]光图案生成装置

权利要求书

1.一种光图案生成装置，其特征在于，

所述光图案生成装置具备：

激光光源，其输出激光；

聚光用透镜，其使从所述激光光源输出的激光折射；

掩模，其吸收或反射从所述聚光用透镜输出的折射后的光的一部分，并且使与该一部分不同的所述折射后的光透过；以及

衍射光学元件，其根据与透过了所述掩模的透过光的行进方向垂直的平面上的位置，变更所述透过光的相位，输出具有形成光图案的相位分布的光，

所述聚光用透镜在第1位置与第2位置之间移动，该第1位置是与所述激光光源相距所述聚光用透镜的焦距的位置，该第2位置是与所述激光光源相距比所述聚光用透镜的焦距长的距离的位置，

存在于所述第1位置的所述聚光用透镜将从所述激光光源输出的激光转换成平行光，

存在于所述第2位置的所述聚光用透镜使从所述激光光源输出的激光聚光。

2.一种光图案生成装置，其特征在于，

所述光图案生成装置具备：

激光光源，其输出激光；

聚光用透镜，其使从所述激光光源输出的激光折射；

衍射光学元件，其根据与从所述聚光用透镜输出的折射后的光的行进方向垂直的平面上的位置，变更所述折射后的光的相位，输出具有相位分布的光；以及

掩模，其吸收或反射从所述衍射光学元件输出的具有相位分布的光的一部分，并且使与该一部分不同的具有所述相位分布的光透过，

所述聚光用透镜在第1位置与第2位置之间移动，该第1位置是与所述激光光源相距所述聚光用透镜的焦距的位置，该第2位置是与所述激光光源相距比所述聚光用透镜的焦距长的距离的位置，透过了所述掩模的透过光形成光图案，

存在于所述第1位置的所述聚光用透镜将从所述激光光源输出的激光转换成平行光，

存在于所述第2位置的所述聚光用透镜使从所述激光光源输出的激光聚光。

3.一种光图案生成装置，其特征在于，

所述光图案生成装置具备：

激光光源，其输出激光；

聚光用透镜，其使从所述激光光源输出的激光折射；以及

带遮光部的衍射光学元件，其吸收或反射从所述聚光用透镜输出的折射后的光的一部分，并且根据与和该一部分不同的所述折射后的光的行进方向垂直的平面上的位置，变更与该一部分不同的所述折射后的光的相位，输出具有形成光图案的相位分布的光，

所述聚光用透镜在第1位置与第2位置之间移动，该第1位置是与所述激光光源相距所述聚光用透镜的焦距的位置，该第2位置是与所述激光光源相距比所述聚光用透镜的焦距长的距离的位置，

存在于所述第1位置的所述聚光用透镜将从所述激光光源输出的激光转换成平行光，

存在于所述第2位置的所述聚光用透镜使从所述激光光源输出的激光聚光。

4.根据权利要求1或2所述的光图案生成装置，其特征在于，

所述掩模通过吸收或反射所述光的一部分，从而形成与具有所述相位分布的光通过该相位分布而形成的光图案关联的光图案。

5.根据权利要求1至3中的任意一项所述的光图案生成装置，其特征在于，

所述激光光源输出通过脉冲而驱动的所述激光，

所述聚光用透镜与所述脉冲的脉冲定时匹配地在所述第1位置与所述第2位置之间移动。

6.根据权利要求3所述的光图案生成装置，其特征在于，

所述带遮光部的衍射光学元件在表面具有变更入射光的相位分布的凹凸的形状，所述凹凸的形状在特定的一个方向上具有周期性的形状。