[发明专利]加工系统、形状测定探针、形状算出装置及存储介质有效
申请号: | 201780097866.0 | 申请日: | 2017-12-25 |
公开(公告)号: | CN111511501B | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 山田智明 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | B23Q17/20 | 分类号: | B23Q17/20;G01B21/00 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马爽;臧建明 |
地址: | 日本东京港*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加工 系统 形状 测定 探针 装置 存储 介质 | ||
本发明提供一种加工系统、形状测定探针、形状算出装置及存储介质,能够改善所算出的加工对象物的形状数据的精度会降低的问题。所述加工系统包括:机床,包含输出测定信息的测定部,所述测定信息用以算出加工对象物的形状;控制部,生成与测定加工对象物时的测定部的位置相关的位置信息,并输出所生成的位置信息与表示生成位置信息的时期的生成时期信号;获取部,获取所输出的位置信息与生成时期信号;推定部,基于获取部获取生成时期信号的时期,来推定生成位置信息的时期;以及形状算出部,基于测定信息、位置信息及推定部所推定的时期,来算出加工对象物的形状。
技术领域
本发明涉及一种加工系统、形状测定探针、形状算出装置及存储介质。
背景技术
先前,已知有一种非接触形状测定装置,对测定对象物的表面以非接触的方式进行扫描来测定所述测定对象物的表面形状(例如,参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利特开2012-225701号公报
此种非接触形状测定装置有时用于测定数控(numerically-controlled,NC)机床的加工对象物的表面形状。这种情况下,例如通过利用NC机床的坐标控制来使安装于NC机床的工具主轴上的测定探针相对于加工对象物相对移动,由此获取用以算出加工对象物的表面形状的图像。在此种非接触形状测定装置中,针对测定探针所获取的加工对象物的图像,实施基于测定探针相对于加工对象物的相对位置的坐标变换运算,由此算出加工对象物的形状数据。
在此种非接触形状测定装置中,存在如下情况:测定探针的坐标由NC机床控制,用以算出加工对象物的形状的加工对象物的图像由测定探针获取。这种情况下,为了算出加工对象物的形状数据,非接触形状测定装置自测定探针获取加工对象物的图像,自NC机床获取测定探针的坐标。
然而,在自测定探针获取图像的时间点与自NC机床获取测定探针的坐标的时间点之间产生时间性误差,进而,在所述时间性误差中产生误差间的偏差。因此,在先前的非接触形状测定装置中,有如下问题:所算出的加工对象物的形状数据的精度会降低。
发明内容
本发明的一实施例为一种加工系统,包括:机床,包含输出测定信息的测定部,所述测定信息用以算出加工对象物的形状;控制部,生成与测定所述加工对象物时的所述测定部的位置相关的位置信息,并输出所生成的所述位置信息与表示生成所述位置信息的时期的生成时期信号;获取部,获取所输出的所述位置信息与所述生成时期信号;推定部,基于所述获取部获取所述生成时期信号的时期,来推定生成所述位置信息的时期;以及形状算出部,基于所述测定信息、所述位置信息及所述推定部所推定的时期,来算出所述加工对象物的形状。
本发明的一实施例为一种形状测定系统,包括:测定部,能够安装于机床,且生成用以算出所述机床的加工对象物的形状的测定信息;获取部,获取所述机床所生成的位置信息与表示生成所述位置信息的时期的生成时期信号作为与测定所述加工对象物时的所述测定部的位置相关的信息;推定部,基于所述获取部获取所述生成时期信号的时期,来推定生成所述位置信息的时期;以及形状算出部,基于所述测定信息、所述位置信息及所述推定部所推定的时期,来算出所述加工对象物的形状。
本发明的一实施例为一种形状测定探针,能够安装于机床,且所述形状测定探针包括:拍摄部,通过对所述机床的加工对象物进行拍摄来生成所述加工对象物的测定信息;获取部,获取表示生成所述机床所生成的位置信息的时期的生成时期信号作为与测定所述加工对象物时的所述形状测定探针的位置相关的信息;推定部,基于所述获取部获取所述生成时期信号的时期,来推定生成所述位置信息的时期;以及输出部,对形状算出装置输出所述测定信息和与所述推定部所推定的时期相关的信息,所述形状算出装置基于所述测定信息、所述位置信息及所述推定部所推定的时期,来算出所述加工对象物的形状。
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