[发明专利]具有附加导线的薄膜装置及其制造方法

权利要求书

1.一种薄膜装置，包括至少一个薄膜电池，其中所述薄膜电池包括第一电极、光敏层和第二电极，其中所述光敏层设置在所述第一电极和所述第二电极之间，其特征在于，至少一条附加导线布置在所述薄膜电池的有效区域内并包括在所述光敏层中，并且与所述第一电极电互连并与所述第二电极电绝缘，所述至少一条附加导线埋设在凹槽内，所述凹槽形成于所述光敏层内的所述有效区域内且与所述第一电极邻接，所述凹槽部分填充有形成所述至少一条附加导线的导电材料，所述导电材料在所述光敏层内的高度为所述光敏层的高度的1-99％，并且所述凹槽还额外填充有绝缘材料，直到所述光敏层内高度的100％。

2.根据权利要求1所述的薄膜装置，其中，所述第一电极由透明导电材料制成。

3.根据权利要求1所述的薄膜装置，其中，所述至少一条附加导线具有10μm到10cm的宽度。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的薄膜装置，其中，所述至少一条附加导线在所述光敏层内的高度为所述光敏层的高度的1％至99％。

5.根据权利要求4所述的薄膜装置，其中，所述至少一条附加导线在所述光敏层内的高度为所述光敏层的高度的70％至80％。

6.根据权利要求1所述的薄膜装置，其中，所述绝缘材料设置在所述导电材料与所述第二电极之间，所述导电材料与所述第一电极邻接。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的薄膜装置，其中，所述薄膜装置包括多个串联连接的薄膜电池，其中，第一电池的第一电极通过接触线与第二电池的第二电极电互连，并且至少一条导线与所述接触线电互连。

8.一种形成薄膜装置的方法，所述薄膜装置包括至少一个薄膜电池，其中，所述薄膜电池包括第一电极、光敏层和第二电极，所述光敏层设置在所述第一电极和所述第二电极之间，所述方法包括如下步骤：

a形成第一电极，

b形成第二电极，

c在所述第一电极和所述第二电极之间形成光敏层，以及

d在至少一个所述光敏层内形成导线，其中所述导线与所述第一电极电互连并与所述第二电极电绝缘，

其中，步骤d包括以下步骤：

x在所述光敏层内形成凹槽，

xx用导电材料部分地填充凹槽，使得所述导电材料与所述第一电极电互连，以及

xxx用绝缘材料填充所述凹槽，以使所述导电材料与所述第二电极电绝缘。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述薄膜装置包括第一薄膜电池和第二薄膜电池，其中，所述第一薄膜电池和所述第二薄膜电池的所述第一电极、所述光敏层和所述第二电极分别形成为连续层，所述方法包括以下附加步骤：

i.刻划至少穿过所述第一电极的层的第一条线，以分离所述第一薄膜电池和所述第二薄膜电池的第一电极，

ii.通过所述光敏层刻划一条平行于所述第一条线的第二条线，以产生接触线，所述接触线用于所述第一薄膜电池的所述第一电极与所述第二薄膜电池的所述第二电极的串联互连，

iii.至少穿过所述第二电极的层刻划一条平行于所述第一条线和所述第二条线的第三条线，以分离所述第一薄膜电池和所述第二薄膜电池的第二电极，

iv.用绝缘材料填充第一条线，以及

v.用导电材料填充第二条线，以形成用于将所述第一薄膜电池的所述第一电极电互连到所述第二薄膜电池的所述第二电极的所述接触线，

其中，附加步骤i在步骤xx之后，附加步骤ii在步骤c或步骤x之后，附加步骤iii在步骤b之后。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，附加步骤iv与步骤xxx一起在一个处理步骤中进行。

11.根据权利要求9或10所述的方法，其中，附加步骤v与步骤b一起在一个处理步骤中进行。