[其他]管泵

说明书

一种管泵，包括金属制的泵壳体(21)和柔性管(23)，通过供给至驱动室(25)的间接介质，泵室(24)膨胀或收缩。树脂制的环状块(26)嵌合于柔性管(23)的端部的内侧，树脂制的凸缘(31)焊接于柔性管(23)的端部的外侧。金属制的紧固环(34)通过螺纹部件(35)紧固于泵壳体(21)，凸缘(31)在泵壳体(21)和紧固环(34)之间被施加压缩力。

技术领域

本实用新型涉及用于将液体涂布于被涂布物的管泵。

背景技术

用于将光致抗蚀剂液等液体涂布于作为被涂布物的半导体晶片的泵包括管泵。管泵是使柔性管的弹性变形部在径向上膨胀收缩而进行泵动作的泵，也被称为管式隔膜泵。这种类型的泵具有泵壳体和装入其内部的柔性管，并且泵壳体的内部被柔性管的弹性变形部划分为内侧泵室和外侧的驱动室。当将由非压缩性流体构成的间接介质供给至驱动室时，弹性变形部收缩。另一方面，通过从驱动室排出间接介质，弹性变形部膨胀。

在使用这样的柔性管的泵中，在弹性变形部收缩时，对柔性管的两端部施加将其拉向泵壳体内的方向的力。因此，需要将柔性管的两端部牢固地紧固于泵壳体。

在专利文献1所描述的管泵中，在筒体的端部设有锥形状的嵌合面，柔性管的端部通过适配器紧固于嵌合面。专利文献2所描述的药液供给装置具有紧固部件，柔性管的端部被夹在紧固部件和泵壳体之间，通过将楔部件压入设于紧固部件的锥形状的槽，将柔性管的端部紧固于泵壳体。另外，专利文献3公开了一种液体喷出装置，该液体喷出装置具有配置于外壳容器的内部的橡胶管和配置于橡胶管的内侧的硅管，硅管被紧固于端部件的小径部和安装于端部件的套环之间。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开平11-117872号公报

专利文献2：特开2010-38007号公报

专利文献3：特开平9-303267号公报

实用新型内容

实用新型要解决的技术问题

当增大从柔性管内的泵室排出的液体的排出压力、或提高排出容量时，在柔性管的弹性变形部收缩时，会对柔性管的两端部施加将其拉向泵壳体的内部的方向的大的力。因此，在像现有的泵那样通过施加径向的紧固力而将柔性管的端部紧固于泵壳体的构造中，无法提高柔性管的紧固力。因此，无法增大从泵室的液体的排出压力、或提高排出容量。

进而，为对柔性管的端部施加径向的紧固力，像现有技术那样，必须将楔部件压入紧固部件的槽、或将用于紧固柔性管的端部的套环紧固于端部件，用于紧固柔性管的构造变得复杂。

本实用新型的目的在于，提供可以将柔性管的端部牢固地紧固于泵壳体的简单构造的管泵。

用于解决技术问题的方案

本实用新型的管泵包括：金属制的泵壳体和柔性管，所述柔性管装入所述泵壳体内并分隔出内侧的泵室和外侧的驱动室，通过供给至所述驱动室的非压缩性的间接介质，所述泵室膨胀或收缩，所述管泵具有：树脂制的环状块，嵌合于所述柔性管的端部的内侧；树脂制的凸缘，焊接于所述柔性管的端部的外侧，并安装于设于所述泵壳体的端部的安装孔，所述柔性管的端部被夹在所述凸缘与所述环状块之间；以及金属制的紧固环，通过螺纹部件而被紧固于所述泵壳体，所述紧固环在与设于所述泵壳体的抵接面之间对所述凸缘施加中心轴方向的压缩力。

在本实用新型的管泵中，所述管泵具有：环状突起，从与所述驱动室相接的所述凸缘的端面向中心轴方向内侧突出；嵌合孔，设于所述泵壳体的端部、且直径比所述安装孔小；以及金属制的辅助环，配置于所述环状突起的内周面，由所述金属制的辅助环和所述泵壳体对所述环状突起施加径向的压缩力。