[其他]真空阀

权利要求书

1.一种真空阀，其特征在于，具有：

固定侧触点和可动侧触点，其在真空容器内以可分合接触的方式配置，且其具有彼此分合接触的接触部并且从中心部至周缘部形成有多个圆弧形的槽；

固定侧电极棒，其连接于所述固定侧触点；

可动侧电极棒，其连接于所述可动侧触点；

固定侧加强板，其被配置于所述固定侧电极棒与所述固定侧触点之间，且其周缘部具有与所述固定侧触点的背面分离而配置的台阶部；和

可动侧加强板，其被配置于所述可动侧电极棒与所述可动侧触点之间，且其周缘部具有与所述可动侧触点的背面分离而配置的台阶部。

2.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，

通过增大所述固定侧加强板或所述可动侧加强板的中央部分的厚度，来使所述固定侧加强板的所述台阶部与所述固定侧触点的背面分离而配置或者使所述可动侧加强板的所述台阶部与所述可动侧触点的背面分离而配置。

3.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，

将所述固定侧加强板的中央部分设为凹形部并作为所述固定侧加强板的与所述固定侧触点接触的部分，或者将所述可动侧加强板的中央部分设为凹形部并作为所述可动侧加强板的与所述可动侧触点接触的部分，据此来使所述固定侧加强板的所述台阶部与所述固定侧触点的背面分离而配置或者使所述可动侧加强板的所述台阶部与所述可动侧触点的背面分离而配置。

4.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，

在所述固定侧电极棒与所述固定侧触点之间或所述可动侧电极棒与所述可动侧触点之间配置在周缘部形成有台阶部的垫片，且将所述固定侧加强板或所述可动侧加强板安装于所述垫片的所述台阶部，据此来使所述固定侧加强板的所述台阶部与所述固定侧触点的背面分离而配置或者使所述可动侧加强板的所述台阶部与所述可动侧触点的背面分离而配置。

5.根据权利要求4所述的真空阀，其特征在于，

所述固定侧加强板与所述垫片构成为一体结构体或者所述可动侧加强板与所述垫片构成为一体结构体。

6.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，

在设所述固定侧加强板的与所述固定侧触点接触的部分或所述可动侧加强板的与所述可动侧触点接触的部分的直径为D3、所述固定侧触点或所述可动侧触点的直径为D2、所述固定侧触点或所述可动侧触点的周缘部的厚壁部内径为D1的情况下，D1<D3<D2成立。

7.根据权利要求1～6中任意一项所述的真空阀，其特征在于，

所述固定侧加强板的所述台阶部与所述固定侧触点之间的间隙或所述可动侧加强板的所述台阶部与所述可动侧触点之间的间隙为0.5mm以上。

8.根据权利要求1～6中任意一项所述的真空阀，其特征在于，

所述固定侧加强板或所述可动侧加强板由不锈钢材料形成。

9.一种真空阀，其特征在于，具有：

固定侧触点和可动侧触点，其在真空容器内以可分合接触的方式配置，且其具有彼此分合接触的接触部并且从中心部至周缘部形成有多个圆弧形的槽；

固定侧电极棒，其连接于所述固定侧触点；

可动侧电极棒，其连接于所述可动侧触点；

固定侧突出部，其被设置于所述固定侧触点的背面侧中央部分；

可动侧突出部，其被设置于所述可动侧触点的背面侧中央部分；

固定侧加强板，其被配置于所述固定侧电极棒与所述固定侧触点之间，且其中央部分与所述固定侧突出部接触，其周缘部具有与所述固定侧触点的背面分离而配置的台阶部；和

可动侧加强板，其被配置于所述可动侧电极棒与所述可动侧触点之间，且其中央部分与所述可动侧突出部接触，其周缘部具有与所述可动侧触点的背面分离而配置的台阶部。