[其他]投影光学系统、投影装置及摄像装置

权利要求书

1.一种投影光学系统，构成为在从缩小侧朝向放大侧的光路上依次配置第一光学组、第二光学组、第三光学组，使来自所述缩小侧共轭面上的原图像的成像光束在到所述放大侧共轭面的光路上成像为一个以上的中间像，然后在所述放大侧共轭面上成像为放大图像，其中，

所述第一光学组具有第一透镜组和反射光学单元，所述反射光学单元具有将所述成像光束向所述第二光学组侧反射的反射面，

所述第一透镜组的至少一部分由朝向所述反射面的入射成像光束和被所述反射面反射而朝向所述第二光学组的反射成像光束共用，

所述第三光学组具有位于所述一个以上的中间像的所述放大侧的凹面镜，

从所述缩小侧共轭面到放大侧共轭面的光路上的成像光束在所述原图像位置的最大有效直径2Yi、在所述凹面镜的镜面上的最大有效直径2Ym满足以下条件：

(1)1.5＜Ym/Yi＜5.0。

2.根据权利要求1所述的投影光学系统，其中，

在到所述放大侧共轭面的光路上，依次成像为第一中间像、第二中间像，然后在所述放大侧共轭面上成像为放大图像，

所述第一光学组具有第一透镜组、光路分离光学单元和反射光学单元，所述反射光学单元具有将来自所述光路分离光学单元侧的所述成像光束向所述第二光学组侧反射的反射面，

所述光路分离光学单元具有将从所述原图像朝向所述反射光学单元的入射成像光束的光路与被所述反射光学单元反射而朝向所述第二光学组的反射成像光束的光路分离的功能，

所述第一透镜组的至少一部分由所述入射成像光束和所述反射成像光束共用，

所述第三光学组具有位于所述第二中间像的所述放大侧的凹面镜。

3.根据权利要求1或2所述的投影光学系统，其中，

所述反射光学单元的反射面与所述第二光学组的最靠近放大侧的透镜面在光轴上的距离Lr、所述第二光学组的所述透镜面与所述第三光学组的所述凹面镜面在光轴上的距离Lm满足以下条件：

(2)0.25＜Lm/Lr＜0.55。

4.根据权利要求1或2所述的投影光学系统，其中，

所述第一透镜组的最靠近放大侧的是正透镜，并且配置在所述第一中间像的缩小侧或包括所述第一中间像的位置。

5.根据权利要求1或2所述的投影光学系统，其中，

所述反射光学单元的反射所述入射成像光束的反射面为孔径光阑。

6.根据权利要求1或2所述的投影光学系统，其中，

所述投影光学系统在缩小侧为远心的投影光学系统。

7.根据权利要求1所述的投影光学系统，其中，

所述第一光学组构成为具有第一透镜组、光路分离光学单元和反射光学单元，所述反射光学单元具有将来自所述光路分离光学单元侧的所述成像光束向所述第二光学组侧反射的反射面，所述光路分离光学单元的所述缩小侧的光轴与所述光路分离光学单元的所述放大侧的光轴的角度θAX满足以下条件：

(3)45°≤θAX≤90°。

8.根据权利要求3所述的投影光学系统，其中，

所述第一光学组构成为具有第一透镜组、光路分离光学单元和反射光学单元，所述反射光学单元具有将来自所述光路分离光学单元侧的所述成像光束向所述第二光学组侧反射的反射面，所述光路分离光学单元的所述缩小侧的光轴与所述光路分离光学单元的所述放大侧的光轴的角度θAX满足以下条件：

(3)45°≤θAX≤90°。

9.根据权利要求1或2所述的投影光学系统，其中，

所述第一光学组具有第一透镜组、光路分离光学单元和反射光学单元，所述反射光学单元具有将来自所述光路分离光学单元侧的所述成像光束向所述第二光学组侧反射的反射面，

所述光路分离光学单元通过将应成为所述入射成像光束的部分及应成为所述反射成像光束的部分中的一方反射并使另一方通过，进行这两个成像光束的光路的分离。