[发明专利]光学检测设备及光学检测方法在审
| 申请号： | 201810000835.5 | 申请日： | 2018-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN109799236A | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 邹嘉骏;江宏伟;赖宪平 | 申请（专利权）人： | 由田新技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/15;B08B5/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马雯雯;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾新北市中*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 待测物 图像获取装置 光学检测设备 除尘装置 光学检测 载台 除尘气流 承载 图像 检测 移动 | ||
1.一种光学检测设备，包括：
载台，适于承载待测物；
图像获取装置，适于获取所述载台上的所述待测物的图像，以检测所述待测物；以及
除尘装置，连接于所述图像获取装置而适于随着所述图像获取装置相对于所述待测物移动，且适于往所述载台上的所述待测物提供除尘气流。
2.根据权利要求1所述的光学检测设备，其中所述图像获取装置及所述除尘装置相互固定且适于同步地移动。
3.根据权利要求1所述的光学检测设备，还包括支架及光源，其中所述除尘装置与所述载台之间的距离小于所述图像获取装置与所述载台之间的距离，所述支架连接于所述图像获取装置且往所述载台延伸，所述光源配置于所述支架的末端且适于往所述载台上的所述待测物提供光束，所述除尘装置配置于所述支架的所述末端。
4.根据权利要求3所述的光学检测设备，其中所述除尘装置适于沿方向提供所述除尘气流，所述方向平行于所述光源的光轴。
5.根据权利要求1所述的光学检测设备，其中所述除尘装置具有开口且适于从所述开口提供所述除尘气流，当所述图像获取装置对位于所述载台上的所述待测物的区域时，所述开口朝向所述载台上的所述待测物的所述区域。
6.根据权利要求1所述的光学检测设备，其中所述除尘装置适于沿方向提供所述除尘气流，所述方向倾斜于所述图像获取装置的光轴。
7.一种光学检测方法，包括：
通过载台承载待测物；
提供图像获取装置及除尘装置；
驱动所述除尘装置随着所述图像获取装置相对于所述待测物移动；
通过所述图像获取装置获取所述载台上的所述待测物的图像，以检测所述待测物；以及
通过所述除尘装置往所述载台上的所述待测物提供除尘气流。
8.根据权利要求7所述的光学检测方法，包括：
驱动所述图像获取装置及所述除尘装置同步地移动；以及
使所述除尘装置与所述载台之间的距离小于所述图像获取装置与所述载台之间的距离。
9.根据权利要求7所述的光学检测方法，包括：
从所述除尘装置的开口提供所述除尘气流；以及
当所述图像获取装置对位于所述载台上的所述待测物的区域时，使所述开口朝向所述载台上的所述待测物的所述区域。
10.根据权利要求7所述的光学检测方法，包括：
通过所述除尘装置沿方向提供所述除尘气流，其中所述方向倾斜于所述图像获取装置的光轴；
通过光源往所述载台上的所述待测物提供光束；以及
通过所述除尘装置沿方向提供所述除尘气流，其中所述方向平行于所述光源的光轴。
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