[发明专利]抛光液供给臂及抛光液供给装置

权利要求书

1.一种抛光液供给臂，其特征在于，包括：臂体、喷嘴固定件、喷嘴和抛光液输送管道；所述臂体具有沿其长度方向设置的第一安装槽和第二安装槽，所述喷嘴固定件设置在所述第一安装槽内，所述抛光液输送管道设置在所述第二安装槽内，所述喷嘴固定件内部沿其长度设置有供水管道，多个所述喷嘴分别与所述喷嘴固定件内部所述供水管道连通，并且多个所述喷嘴分布在所述喷嘴固定件的长度方向，所述喷嘴能够相对于所述喷嘴固定件转动以调整喷射角度。

2.根据权利要求1所述的抛光液供给臂，其特征在于，所述喷嘴包括球座、球体、锁紧环和喷头；所述球座一端具有用以容纳所述球体的第一容纳槽，所述球体设置在所述第一容纳槽内，所述锁紧环具有用以容纳球体的第二容纳槽，所述锁紧环与所述球座连接，所述球体能够在所述第一容纳槽和第二容纳槽形成的空间内转动，所述球体与所述球座具有相贯通的流体通道，所述喷头与所述流体通道相连接。

3.根据权利要求2所述的抛光液供给臂，其特征在于，所述喷头的出水口采用扇形。

4.根据权利要求1-3任一项所述的抛光液供给臂，其特征在于，所述第二安装槽具有用于容纳所述抛光液输送管道的导向孔。

5.一种抛光液供给装置，其特征在于，包括驱动机构、传动轴以及权利要求1-4任一项所述的抛光液供给臂；

所述驱动机构与所述传动轴连接，所述传动轴与所述抛光液供给臂中的臂体连接，所述传动轴内部设置通道用以容纳水液供给管和抛光液供给管，所述水液供给管与所述喷嘴固定件内部供水管道连通，所述抛光液供给管道与所述抛光液输送管道连通。

6.根据权利要求5所述的抛光液供给装置，其特征在于，所述驱动机构包括摆动气缸和带轮传动机构，所述摆动气缸通过所述带轮传动机构驱动所述传动轴转动。

7.根据权利要求5所述的抛光液供给装置，其特征在于，所述驱动机构包括伺服电机和减速机构，所述伺服电机通过减速机构驱动所述传动轴转动。

8.根据权利要求5所述的抛光液供给装置，其特征在于，还包括密封装置，其包括轴端压盖和轴端保护罩，所述轴端压盖用以固定套设在传动轴上的轴承，所述轴端保护罩与所述轴端压盖连接。

9.根据权利要求8所述的抛光液供给装置，其特征在于，还包括第一密封圈，其设置在所述传动轴上，所述第一密封圈采用特氟龙自润滑密封圈。

10.根据权利要求9所述的抛光液供给装置，其特征在于，还包括第二密封圈，其设置在所述传动轴上，所述第二密封圈采用格莱圈。