[发明专利]一种石墨烯薄膜的转移方法及装置有效
| 申请号： | 201810002356.7 | 申请日： | 2018-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN108147400B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 郭康 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;夏东栋 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 薄膜 转移 方法 装置 | ||
1.一种石墨烯薄膜的转移方法，其特征在于，包括如下步骤：
部分刻蚀步骤，该步骤将石墨烯薄膜连同其下方的金属催化基底放置在刻蚀液中，对所述金属催化基底进行部分刻蚀，以形成纳米级厚度的金属支撑体；
翻转转移步骤，该步骤将石墨烯薄膜和所述金属支撑体翻转并转移至目标基板上；
加热干燥步骤，该步骤对目标基板、石墨烯薄膜和金属支撑体进行加热和干燥；
完全刻蚀步骤，该步骤利用刻蚀液对金属支撑体进行完全刻蚀，从而完成石墨烯薄膜的转移；
其中，所述翻转转移步骤中，将溶液抽出，以使石墨烯薄膜和金属支撑体附着在目标基板上。
2.根据权利要求1所述的石墨烯薄膜的转移方法，其特征在于，在所述部分刻蚀步骤和所述翻转转移步骤之间，还执行第一清洗步骤：利用清洗液稀释刻蚀液以对石墨烯薄膜和金属支撑体进行清洗。
3.根据权利要求1所述的石墨烯薄膜的转移方法，其特征在于，在执行所述完全刻蚀步骤之后，执行第二清洗步骤，该第二清洗步骤利用清洗液稀释刻蚀液以对石墨烯薄膜进行清洗。
4.根据权利要求1所述的石墨烯薄膜的转移方法，其特征在于，还包括：在执行所述完全刻蚀步骤之后，对目标基板和石墨烯薄膜再次进行加热和干燥。
5.根据权利要求1所述的石墨烯薄膜的转移方法，其特征在于，金属支撑体的厚度为100纳米到300纳米。
6.根据权利要求1所述的石墨烯薄膜的转移方法，其特征在于，金属催化基底为铜箔，刻蚀液选自氯化铁、硝酸铁、过硫酸铵和硝酸中的任一种。
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