[发明专利]一种光学镜头的装配方法及装置

权利要求书

1.一种光学镜头的装配方法，其特征在于：包括：

测量被测镜头零度视场的波前；

对所述波前的信息进行处理得到各项像差；

根据所述像差对所述被测镜头的装配位置进行调整。

2.根据权利要求1所述的光学镜头的装配方法，其特征在于：所述测量被测镜头零度视场的波前，其中：采用波前测量部件测量被测镜头零度视场的波前，测量出实际波前信息。

3.根据权利要求2所述的光学镜头的装配装置，其特征在于，所述波前测量部件采用夏克哈特曼波前传感器。

4.根据权利要求1所述的光学镜头的装配方法，其特征在于：所述对所述波前信息进行处理得到像差，是指：对所述波前的信息用泽尼克多项式进行拟合，分解出各项像差。

5.根据权利要求1所述的光学镜头的装配方法，其特征在于：所述被测镜头零度视场的波前，通过以下方式形成：

采用准直光束入射所述被测镜头；

将从所述被测镜头出射的光束准直成平行光束；

对所述平行光束进行扩束，形成所述被测镜头零度视场的波前。

6.根据权利要求1-5任一项所述的光学镜头的装配方法，其特征在于：所述被测镜头分为两部分，第一部分为固定部分，第二部分是可调整部分，所述准直激光光源产生的准直光束依次经过所述第一部分和所述第二部分后出射，根据所述像差对所述被测镜头的所述第二部分位置进行调整，所述第一部分和所述第二部分装配形成光学镜头。

7.一种光学镜头的装配装置，其特征在于，包括：

准直光源，用于产生准直的光束，该光束入射被测镜头；

显微物镜系统，用于将从被测镜头出射的光束准直成平行光束；

望远镜系统，用于扩束所述显微物镜系统出射的平行光束；

波前测量部件，用于接收所述望远镜系统出射的平行光束形成的波前，测量出实际波前信息，所述实际波前信息用于装配时调整被测镜头。

8.根据权利要求7所述的光学镜头的装配装置，其特征在于，所述被测镜头包括第一部分和第二部分，其中：所述第一部分为固定部分，所述第二部分是可调整部分，所述准直激光光源产生的准直光束依次经过所述第一部分和所述第二部分，并经所述第二部分后入射所述显微物镜系统。

9.根据权利要求8所述的光学镜头的装配装置，其特征在于，所述波前测量部件测量到的波前信息传到一处理器，所述处理器对所述波前信息用泽尼克多项式进行拟合，分解出各项像差，根据该各项像差直接对所述被测镜头第二部分进行控制调整；和/或，

所述被测镜头，其中可调整的所述第二部分放置在五维调整台上，所述五维调整台沿光路移动。

10.根据权利要求7-9任一项所述的光学镜头的装配装置，其特征在于，所述波前测量部件采用夏克哈特曼波前传感器；和/或，

所述准直激光光源、所述被测镜头、所述显微物镜系统、所述望远镜系统以及所述波前测量部件在同一光轴上依次排列。