[发明专利]一种稳定装置及其工作方法、机械臂、显示面板生产设备

说明书

本发明公开了一种稳定装置及其工作方法、机械臂、显示面板生产设备；所述稳定装置包括：位移传感器、控制器，以及设置在机械臂的末端的第一喷嘴、第二喷嘴；所述第一喷嘴位于所述机械臂的上表面，且其喷气方向与所述机械臂的上表面垂直；所述第二喷嘴位于所述机械臂的下表面，且其喷气方向与所述机械臂的下表面垂直；所述位移传感器用于检测所述机械臂的竖直方向位移，并触发所述控制器根据位移方向控制所述第一喷嘴或所述第二喷嘴喷气。本发明能够有效减少机械臂在搬运过程中的震颤，大大降低震颤对基板造成的不良影响，减少震颤到稳定的停滞时间，有效提高基板良率，降低生产节拍，提高稼动率与产能，提升产品品质。

技术领域

本发明涉及显示面板制造技术领域，特别是指一种稳定装置及其工作方法、机械臂、显示面板生产设备。

背景技术

随着TFT-LCD显示技术不断进步，为了实现更为经济的切割方式，基板的尺寸也越来越大。在显示面板生成设备的生产过程中，不可避免的要采用机械臂对尺寸较大的基板进行搬运；在搬运时，机械臂的移动所造成的颤动对承载的基板造成很多不良影响，包括：基板高频颤动容易造成应力损伤，导致模组面板成品强度下降，甚至可能在生产过程中基板直接碎裂，严重影响良率和产品品质；特别的，在基板涂布完光阻胶后需要由机械臂搬运至下一设备进行诸如真空干燥等工序时，机械臂的震颤使得光阻胶流动至基板凹陷处，造成基板表面光阻胶厚度不均一，对产品品质产生重大影响；此外，机械臂震颤上下浮动过大，而基板位于设备间隙较小，需等待机械臂恢复至较小振幅甚至静止时才能进行基板取放动作，这一等待过程需花费3～5s时间，严重影响生产节拍和生产稼动率。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提出一种稳定装置及其工作方法、机械臂、显示面板生产设备，能够有效减少机械臂在位移过程中的震颤，大大降低震颤对基板造成的不良影响，减少震颤到稳定的停滞时间，有效提高基板良率，降低生产节拍，提高稼动率与产能，提升产品品质。

第一方面，本发明提供了一种稳定装置，包括：位移传感器、控制器，以及设置在机械臂的末端的第一喷嘴、第二喷嘴；所述第一喷嘴位于所述机械臂的上表面，且其喷气方向与所述机械臂的上表面垂直；所述第二喷嘴位于所述机械臂的下表面，且其喷气方向与所述机械臂的下表面垂直；所述位移传感器用于检测所述机械臂的竖直方向位移，并触发所述控制器根据位移方向控制所述第一喷嘴或所述第二喷嘴喷气。

在一些实施方式中，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴均包括开口大小可调的嘴部；所述控制器还用于根据位移大小控制所述第一喷嘴或所述第二喷嘴的嘴部开口大小。

在一些实施方式中，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴的嘴部开口大小正比于所述机械臂的竖直方向位移大小。

在一些实施方式中，所述控制器根据位移大小控制所述第一喷嘴或所述第二喷嘴的嘴部开口大小时，基于如下公式：

S＝(C_m+C_v)*Min-Max scaling(a)

其中，S为嘴部开口面积；a为机械臂的位移大小；Min-Max scaling为线性归一化函数，用于对所述位移大小进行归一化处理；C_m为机械臂质量常数；C_v为机械臂搬运速度常数。

在一些实施方式中，所述机械臂的末端还设置有用于对基板进行阻挡限位的防护头。

在一些实施方式中，所述防护头的材质为橡胶。

在一些实施方式中，所述机械臂内部设置有与所述第一喷嘴和所述第二喷嘴连接的气体输送管路。

第二方面，本发明提供了一种如上任意一项所述的稳定装置的工作方法，包括：

通过所述位移传感器检测所述机械臂的竖直方向位移；

通过所述控制器根据位移方向控制所述第一喷嘴或所述第二喷嘴喷气。