[发明专利]测量装置及隔垫物高度测量方法

权利要求书

1.一种测量装置，其特征在于，包括：

电容部，所述电容部包括相对设置的第一导电板和第二导电板，其中，所述第一导电板和所述第二导电板之间的距离可调；

检测部，所述检测部连接于所述电容部，用于检测所述电容部的电容值；

电源部，所述电源部的两极分别连接于所述第一导电板和所述第二导电板。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，

所述第一导电板包括多个导电片，多个所述导电片并联连接于所述电源部的第一电极，其中，多个所述导电片设置在同一平面内，多个所述导电片与所述第二导电板相对设置，所述检测部分别连接于多个所述导电片，用于检测每个所述导电片与所述第二导电板之间的电容值。

3.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，

所述第一导电板还包括：绝缘板和导电基板，多个所述导电片设置于所述绝缘板的第一面上，所述导电基板设置于所述绝缘板背离所述第一面的一侧，其中，所述电源部通过所述导电基板连接于多个所述导电片。

4.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，还包括：

驱动部，所述第一导电板连接于所述驱动部的驱动端，所述驱动部用于驱动所述第一导电板活动，以调节所述第一导电板和所述第二导电板之间的距离。

5.根据权利要求4所述的测量装置，其特征在于，还包括：

处理模块，所述处理模块的输入端连接于所述驱动部和所述检测部，用于获取所述电容部的电容信息以及所述第一导电板与所述第二导电板之间的距离信息，并根据所述电容信息和所述距离信息计算出被测基板的高度信息；

显示模块，所述显示模块连接于所述处理模块的输出端，用于显示所述被测基板的高度信息。

6.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，还包括：

支撑架，所述支撑架上设有多个距离所述第二导电板不同高度的支撑位置，所述第一导电板设置在任意一个所述支撑位置上，其中，多个所述支撑位置的数量至少为三个。

7.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，还包括：

密封箱和真空泵，所述密封箱内具有密封腔体以及与所述密封腔体连通的抽气口，所述真空泵连接于所述抽气口，用于将所述密封腔体抽真空，其中，所述电容部设置于所述密封腔体内。

8.一种隔垫物高度测量方法，用于如权利要求1至7中任一项所述的测量装置，其特征在于，包括：

将彩膜基板放置在第一导电板上和所述第二导电板之间；

调节第一导电板和第二导电板之间的距离为第一高度、第二高度和第三高度，并分别在所述第一高度、所述第二高度和所述第三高度位置时检测电容部的电容值为第一电容、第二电容和第三电容；

根据所述第一电容、所述第二电容和所述第三电容计算得到所述彩膜基板上主隔垫物和副隔垫物的高度。

9.根据权利要求8所述的隔垫物高度测量方法，其特征在于，所述将彩膜基板放置在第一导电板上和所述第二导电板之间，包括：

将彩膜基板铺设在所述第二导电板靠近于所述第一导电板的一侧，使所述被彩膜基板上的隔垫物朝向于所述第一导电板。

10.根据权利要求8所述的隔垫物高度检测方法，其特征在于，

所述将彩膜基板放置在第一导电板上和所述第二导电板之间之前，还包括：将所述第一导电板和所述第二导电板设置于真空环境下。