[发明专利]一种图案化的电极层、电极层的图案化方法、显示装置有效
申请号: | 201810004289.2 | 申请日: | 2018-01-03 |
公开(公告)号: | CN108597648B | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 郭康 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01B1/04;H01B13/00 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 柴亮;张天舒 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 图案 电极 方法 显示装置 | ||
1.一种图案化的电极层,其特征在于,所述电极层为柔性电极层,包括多个电极图案,任意两相邻的所述电极图案之间设有与所述电极图案同层形成的绝缘图案,所述电极图案和所述绝缘图案均透明;所述电极图案由导电材料构成,所述绝缘图案由经过绝缘化处理的所述导电材料构成;所述电极图案与所述绝缘图案为一体成型结构,所述绝缘图案将各个所述电极图案之间的间隙完全填充。
2.根据权利要求1所述的图案化的电极层,其特征在于,所述导电材料包括石墨烯。
3.一种电极层的图案化方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供导电材料预结构层,所述导电材料预结构层包括多个第一区域,任意两相邻的所述第一区域之间设有第二区域;
在第一区域的导电材料预结构层的第一侧形成保护层;
对第二区域的导电材料预结构层的第一侧进行绝缘化处理,得到绝缘图案,而第一区域的导电材料预结构层得到电极图案;
除去所述保护层,得到图案化的电极层;所述导电材料预结构层由透明导电材料构成;所述透明导电材料包括石墨烯;所述保护层由金属材料构成;所述电极图案与所述绝缘图案为一体成型结构,所述绝缘图案将各个所述电极图案之间的间隙完全填充。
4.根据权利要求3所述的电极层的图案化方法,其特征在于,所述进行绝缘化处理包括采用氢气进行等离子处理;所述氢气进行等离子处理的条件是氢气流量在100~300sccm范围内,压力在200~400mTorr范围内,处理时间在30~1200s范围内。
5.根据权利要求3所述的电极层的图案化方法,其特征在于,所述形成保护层包括采用蒸镀的方法形成;所述除去所述第一区域内的保护层包括采用刻蚀的方法除去第一区域内的保护层。
6.一种显示装置,其特征在于,包括透明电极层,所述透明电极层包括权利要求1-2任一项所述的图案化的电极层。
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