[发明专利]一种烘烤方法、装置及烘烤炉

权利要求书

1.一种烘烤方法，其特征在于，包括以下步骤：

获取到预定指令，开始计时并循环执行下述步骤：

控制第一组顶针从初始位置上升支撑基板，并记录所述第一组顶针上升的次数；

在所述第一组顶针上升到第一预设位置，控制所述第一组顶针向第一预设方向移动第一预设距离，以使得所述基板向所述第一预设方向移动所述第一预设距离，所述第一预设距离与所述第一组顶针上升的次数相关；

控制所述第一组顶针下降使得第二组顶针支撑所述基板；

在所述第一组顶针下降到第二预设位置，控制所述第一组顶针回到所述初始位置。

2.如权利要求1所述的烘烤方法，其特征在于，在所述第一组顶针回到所述初始位置后，所述方法还包括：

获取计时时间，当所述计时时间等于或者大于预设时间时，将所述计时时间和所述第一组顶针上升的次数重置为初始值，重新开始计时并循环执行下述步骤：

控制所述第一组顶针从所述初始位置上升支撑所述基板，并记录所述第一组顶针上升的次数；

在所述第一组顶针上升到所述第一预设位置，控制所述第一组顶针向第二预设方向移动第二预设距离，以使得所述基板向所述第二预设方向移动所述第二预设距离，所述第二预设方向与所述第一预设方向为相反的方向，所述第二预设距离与所述第一组顶针上升的次数相关；

控制所述第一组顶针下降使得所述第二组顶针支撑所述基板；

在所述第一组顶针下降到所述第二预设位置，控制所述第一组顶针回到所述初始位置；

获取计时时间，当所述计时时间等于或者大于所述预设时间时，排出所述基板。

3.如权利要求1所述的烘烤方法，其特征在于，所述第一预设距离与所述第一组顶针上升的次数相关为：

其中，所述表示所述第一预设距离，所述表示所述第一组顶针上升的次数。

4.如权利要求2所述的烘烤方法，其特征在于，所述初始值为0，所述第二预设距离与所述第一组顶针上升的次数相关为：

其中，所述表示所述第二预设距离，所述表示所述第一组顶针上升的次数。

5.如权利要求2所述的烘烤方法，其特征在于，所述预设时间为烘烤时间的1/2。

6.一种烘烤装置，其特征在于，包括：

第一获取单元，用于获取到预定指令，开始计时并控制下述单元循环工作：

第一上升控制单元，用于控制第一组顶针从初始位置上升支撑基板，并记录所述第一组顶针上升的次数；

第一移动控制单元，用于在所述第一组顶针上升到第一预设位置，控制所述第一组顶针向第一预设方向移动第一预设距离，以使得所述基板向所述第一预设方向移动所述第一预设距离，所述第一预设距离与所述第一组顶针上升的次数相关；

第一下降控制单元，用于控制所述第一组顶针下降使得第二组顶针支撑所述基板；

第一返回控制单元，用于在所述第一组顶针下降到第二预设位置，控制所述第一组顶针回到所述初始位置。

7.如权利要求6所述的烘烤装置，其特征在于，所述烘烤装置还包括：

第二获取单元，还用于在所述第一组顶针回到所述初始位置后，获取计时时间，当所述计时时间等于或者大于预设时间时，将所述计时时间和所述第一组顶针上升的次数重置为初始值，重新开始计时并控制下述单元循环工作：

第二上升控制单元，用于控制所述第一组顶针从所述初始位置上升支撑所述基板，并记录所述第一组顶针上升的次数；

第二移动控制单元，还用于在所述第一组顶针上升到所述第一预设位置，控制所述第一组顶针向第二预设方向移动第二预设距离，以使得所述基板向所述第二预设方向移动所述第二预设距离，所述第二预设方向与所述第一预设方向为相反的方向，所述第二预设距离与所述第一组顶针上升的次数相关；

第二下降控制单元，用于控制所述第一组顶针下降使得所述第二组顶针支撑所述基板；

第二返回控制单元，还用于在所述第一组顶针下降到所述第二预设位置，控制所述第一组顶针回到所述初始位置；

排出控制单元，用于获取计时时间，当所述计时时间等于或者大于所述预设时间时，排出所述基板。