[发明专利]真空泵及泵一体型的电源装置

说明书

本发明提供一种真空泵及泵一体型的电源装置。当利用多个加热器对泵单元的加热对象部位进行加热时，使内置有加热器控制部的电源装置小型化。真空泵包括：泵单元(100)，包含泵马达(101)，并包含排出经吸入的气体的排气功能部、及至少两个直流加热器(51)、直流加热器(54)；以及泵一体型的电源装置，内置有泵控制部(201)、对泵控制部(201)供给电力的泵用电源(206)、对两个直流加热器(51)、直流加热器(54)进行控制的直流加热器控制部(203)、及对直流加热器控制部(203)供给电力的直流加热器电源(205)。

技术领域

本发明涉及一种真空泵及泵一体型的电源装置。

背景技术

在利用涡轮分子泵(turbo-molecular pump)使腔室内成为高真空而进行化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)成膜或蚀刻的装置中，根据所排出的气体种类，在泵内部气体会产生冷凝而使生成物容易附着在泵内。当产生这种生成物的附着时，会出现转子平衡(rotor balance)变差等的故障。因此，已经知道有通过利用加热器对泵本体进行加热来抑制生成物的附着的涡轮分子泵(例如，参照专利文献1)。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2013-79602号公报。

发明内容

本发明的目的在于解决以下问题。

在所述专利文献所述的涡轮分子泵中，是通过对加热器供给交流电力来使加热器发热。利用交流电力的加热器的驱动电路通常连接着交流200V的电源线(line)，经由分别串联配置的漏电探测电路、继电器(relay)、电流传感器及熔断器(fuse)对加热器施加交流200V的驱动电力。

而且，有时利用多个加热器对多个加热对象部位进行加热。当使用多个加热器时，需要对各个加热器设置驱动电路。然而，如上所述在利用交流电力的加热器的驱动电路中，需要设置漏电探测电路、继电器、电流传感器及熔断器。因此，如果设置多个加热器的驱动电路，那么涡轮分子泵的电源装置的小型化会变得困难。

本发明的目的是采用以下技术方案来实现的。

本发明提供一种真空泵,本发明的一个实施形态的真空泵包括：泵单元，包含泵马达，并包含排出经吸入的气体的排气功能部、及至少两个直流加热器；以及泵一体型的电源装置，内置有泵控制部、对所述泵控制部供给电力的泵用电源、对所述两个直流加热器进行控制的直流加热器控制部、及对所述直流加热器控制部供给电力的直流加热器电源。

在所述实施形态的真空泵中，优选的是，所述泵单元还包括交流加热器。在所述实施形态中，所述电源装置包括对所述交流加热器进行控制的交流加热器控制部。

包括交流加热器的更优选的实施形态的真空泵包括共用强电线，所述共用强电线是将对所述交流加热器控制部供给电力的第一强电线、对所述泵用电源供给电力的第二强电线、以及对所述直流加热器电源供给电力的第三强电线连结而成，在所述共用强电线上设置有噪声滤波器(noise filter)。

所述(1)～所述(3)的真空泵中，优选的是，还包括构成所述泵单元的泵框体、构成所述电源装置的电源装置框体、以及介于所述泵框体与所述电源装置框体之间的冷却装置。这时，所述泵控制部与所述直流加热器控制部安装在所述冷却装置上。

所述(1)的实施形态的真空泵的泵单元中，除了所述两个直流加热器以外，还可以设置有一个以上的直流加热器。

本发明的另一个实施形态是一种泵一体型的电源装置，其用于所述各种实施形态的真空泵。

根据本发明，可以使电源装置小型化。可以使电源装置一体化的真空泵小型化。

附图说明