[发明专利]一种防金属蒸气污染的电子束成形制造视觉监控系统

权利要求书

1.一种防金属蒸气污染的电子束成形制造视觉监控系统，其特征在于该监控系统包括金属蒸气防污染系统、光学观察系统和相机冷却套筒(5)，所述的金属蒸气防污染系统包括扇叶组(1)、电机(3)和防污染套筒(2)，扇叶组(1)和电机(3)同轴安装在防污染套筒(2)内，防污染套筒(2)的一端为前盖板(15)，前盖板(15)上设有窥孔(14)，防污染套筒(2)的另一端通过电机固定板(4)与相机冷却套筒(5)的一侧相对固定，电机固定板(4)上安装有观察窗，观察窗的一侧为光学石英玻璃(13)，观察窗的另一侧为玻璃压片(12)，玻璃压片(12)通过螺栓将光学石英玻璃(13)压紧在电机固定板(4)上；相机冷却套筒(5)的另一侧安装有上后盖板(16)和下后盖板(18)；

所述的光学观察系统包括工业相机(10)、镜头(11)、相机数据线(7)和相机电源线(17)，所述的工业相机(10)安装在相机冷却套筒(5)内，相机数据线(7)和相机电源线(17)安装在下后盖板(18)上；所述的工业相机(10)、镜头(11)、光学石英玻璃(13)和窥孔(14)位于同一轴线上；

所述的相机冷却套筒(5)的下后盖板(18)上设有进气口(8)和出气口(9)。

2.如权利要求1所述的监控系统，其特征在于其中所述的扇叶组(1)由若干单片扇叶(21)堆叠而成，扇叶数量n₁满足下式：

其中，n₁为扇叶数量，n₂为每个扇叶的叶片数量，ω为电机角速度，v为金属蒸气原子的最大运动速度，h为单片扇叶的厚度。

3.如权利要求2所述的监控系统，其特征在于其中所述的每个扇叶(21)的叶片(20)的数量满足下式：

其中，t为相机最大曝光时间，n₂为叶片数量，ω为电机角速度。

4.如权利要求2所述的监控系统，其特征在于其中所述的叶片上加工有微观结构，包括密布的盲孔(19)、滚花、蜂窝孔或方形孔。