[发明专利]靶材轧制方法在审
| 申请号： | 201810011222.1 | 申请日： | 2018-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN110000211A | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;陈金库 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B21B3/00 | 分类号： | B21B3/00;B21B45/00;B21B1/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高磊;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶材坯料 压延处理 靶材 轧制 加热 加热处理 温度降低 对靶 溅射 坯料 | ||
1.一种靶材轧制方法，其特征在于，包括：
提供靶材坯料；
将所述靶材坯料加热至第一温度；
在将所述靶材坯料加热至第一温度后，对所述靶材坯料进行压延处理；
在所述压延处理过程中，当所述靶材坯料温度降低至第二温度时，对靶材坯料进行加热处理，将所述靶材坯料加热至第一温度后进行所述压延处理；
交替进行所述加热处理及所述压延处理，直至将所述靶材坯料制成靶材。
2.如权利要求1所述的靶材轧制方法，其特征在于，所述第一温度为850℃～950℃。
3.如权利要求1所述的靶材轧制方法，其特征在于，所述第二温度为700℃～800℃。
4.如权利要求1所述的靶材轧制方法，其特征在于，所述加热处理的次数大于或等于2，且小于或等于8。
5.如权利要求1所述的靶材轧制方法，其特征在于，单次所述压延处理包括对所述靶材坯料进行至少两个道次的轧制。
6.如权利要求5所述的靶材轧制方法，其特征在于，在对所述靶材坯料进行单一道次轧制后，所述靶材坯料的厚度变形率为4％～6％。
7.如权利要求1所述的靶材轧制方法，其特征在于，提供的所述靶材坯料的形状为长方体，长度为100mm～400mm，宽度为50mm～300mm，高度为20mm～40mm。
8.如权利要求1所述的靶材轧制方法，其特征在于，对所述靶材坯料进行加热处理的方法包括：提供恒温炉，将所述靶材坯料放置于所述恒温炉中加热；在对所述靶材坯料进行加热过程中，向所述恒温炉内通入保护气体。
9.如权利要求8所述的靶材轧制方法，其特征在于，所述保护气体包括氩气，所述氩气的质量百分比大于或等于99.9993％。
10.如权利要求1所述的靶材轧制方法，其特征在于，单次所述加热处理的时间为15min～180min。
11.如权利要求1所述的靶材轧制方法，其特征在于，所述靶材坯料的材料为金属钇，所述金属钇的纯度大于或等于99.9％。
12.如权利要求1所述的靶材轧制方法，其特征在于，所述靶材坯料的材料为铝钪合金，所述铝钪合金中，钪元素的质量百分比为5％～15％。
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