[发明专利]一种薄膜应力梯度原位演化的测试样品装置及测试方法

权利要求书

1.一种薄膜应力梯度原位演化的测试样品装置，其特征在于，所述样品装置包括样片夹持部件和应力加载部件；

所述样片夹持部件夹持样品，所述应力加载部件在样品上施加可调应力。

2.如权利要求1所述样品装置，其特征在于，包括样片夹持部件夹具、夹座；

所述夹具包括夹具底部、夹具侧部和由夹具底部与夹具侧部围成的腔室，夹具底部设置有通孔，夹具侧部远离夹具底部的一端设置有卡边；

所述应力加载部件包括加载底端和与加载底端相连的加载端，所述加载端从所述通孔延伸入所述腔室内，所述加载端延伸入腔室内的长度可调节，部分加载端和所述加载底端置于所述夹具底部的外侧；

所述加载部将样品顶于卡边内；

所述夹具置于所述夹座上，所述夹座包括留置孔，所述加载底端位于所述留置孔内。

3.如权利要求1所述样品装置，其特征在于，所述夹座上表面有刻度，可精确控制夹具位移。

4.如权利要求1所述样品装置，其特征在于，所述应力加载部件为螺钉，通过调节螺钉的旋进量调节螺钉施加在样品上的力。

5.如权利要求4所述样品装置，其特征在于，所述螺钉的头部打磨平整，与样品基底保持垂直接触。

6.如权利要求2所述样品装置，其特征在于，所述夹具底部的通孔一周有顶丝角度刻度，通过顶丝角度刻度精确控制所述加载端的旋进量。

7.一种薄膜应力梯度原位演化的测试方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

（1）采用如权利要求1-6任一所述样品装置夹持样品，利用应力加载部件对样品施加一定应力，将所述样品装置放置于X射线衍射仪样品台上；

（2）调节X射线衍射仪的入射角来实现对在一定应力下薄膜不同深度处的测定；

（3）调节应力加载部件施加在样品的应力，重复步骤（1）和步骤（2），实现对薄膜不同深度处应力梯度的测定。

8.如权利要求7所述测试方法，其特征在于，所述应力加载部件为螺钉，通过调节螺钉的旋进量调节螺钉施加在样品上的力；在步骤（1）之前，将应变片置于样品测试区域，测量螺钉旋进量与样品应变量的关系。

9.如权利要求7所述测试方法，其特征在于，所述样品为镀在金属基底的薄膜。

10.如权利要求7所述测试方法，其特征在于，步骤（2）和步骤（3）中测试位置相同。