[发明专利]基板玻璃气浮系统在审
申请号: | 201810011891.9 | 申请日: | 2018-01-05 |
公开(公告)号: | CN108190516A | 公开(公告)日: | 2018-06-22 |
发明(设计)人: | 王树利;李青;穆美强;苏记华;张云晓;孟伟华;申昊;吴彦冰;王瑞涛;张佳磊;李兆廷 | 申请(专利权)人: | 郑州旭飞光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
主分类号: | B65G49/06 | 分类号: | B65G49/06 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 辛自强;陈庆超 |
地址: | 450016 河南省郑*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 鼓风机 过滤器 第一过滤器 基板玻璃 气浮系统 基板玻璃表面 杂质及污染物 气流提供 出风口 给气 气浮 吸附 洁净 | ||
1.一种基板玻璃气浮系统,其特征在于,包括鼓风机(1)、第一过滤器(2)和气浮条(9),所述第一过滤器(2)连接在所述鼓风机(1)的出风口(12)和所述气浮条(9)之间。
2.根据权利要求1所述的气浮系统,其特征在于,所述第一过滤器(2)包括箱体(21)和设置在所述箱体(21)内的滤芯(22),所述箱体(21)的一端形成有进气口(23),另一端形成有出气口(24),所述进气口(23)和所述滤芯(22)之间具有朝向所述滤芯(22)渐扩的降速腔(25),所述滤芯(22)和所述出气口(24)之间具有朝向所述出气口(24)渐缩的增速腔(26)。
3.根据权利要求2所述的气浮系统,其特征在于,所述第一过滤器(2)还包括设置在所述箱体(21)内的第一上导流板(31)、第一下导流板(32),所述第一上导流板(31)和第一下导流板(32)相对设置,所述第一上导流板(31)的一端与所述进气口(23)的上边缘相连,另一端与所述滤芯(22)的上端相连,所述第一下导流板(32)的一端与所述进气口(23)的下边缘相连,另一端与所述滤芯(22)的下端相连,所述降速腔(25)由所述第一上导流板(31)和第一下导流板(32)限定而成。
4.根据权利要求2所述的气浮系统,其特征在于,所述第一过滤器(2)还包括设置在所述箱体(21)内的第二上导流板(33)、第二下导流板(34),所述第二上导流板(33)和第二下导流板(34)相对设置,所述第二上导流板(33)的一端与所述出气口(24)的上边缘相连,另一端与所述滤芯(22)的上边缘相连,所述第二下导流板(34)的一端与所述出气口(24)的下边缘相连,另一端与所述滤芯(22)的下边缘相连,所述增速腔(26)由所述第二上导流板(33)和第二下导流板(34)限定而成。
5.根据权利要求2所述的气浮系统,其特征在于,所述箱体(21)呈立方体结构,所述滤芯(22)呈矩形板状结构,所述滤芯(22)与所述箱体(21)的左侧板(27)和右侧板(28)平行,所述滤芯(22)的上端与所述箱体(21)的顶板齐平,所述滤芯(22)的下端与所述箱体(21)的底板齐平,所述进气口(23)形成在所述左侧板(27)的中央,所述出气口(24)形成在所述右侧板(28)的中央。
6.根据权利要求5所述的气浮系统,其特征在于,所述滤芯(22)可拆卸地安装在所述箱体(21)内。
7.根据权利要求6所述的气浮系统,其特征在于,所述顶板上开设有供所述滤芯(22)穿过的开口,所述顶板的内侧设置有两个上限位条(41),所述底板的内侧设置有两个下限位条(42),所述滤芯(22)的上端夹持在两个所述上限位条(41)之间,所述滤芯(22)的下端夹持在两个所述下限位条(42)之间。
8.根据权利要求2所述的气浮系统,其特征在于,所述箱体(21)为透明箱体。
9.根据权利要求2所述的气浮系统,其特征在于,所述进气口(23)的面积大于所述出气口(24)的面积。
10.根据权利要求1-9中任一项所述的气浮系统,其特征在于,所述鼓风机(1)的进风口(11)连接有第二过滤器(5)。
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