[发明专利]基板加电装置及其设备

权利要求书

1.一种基板加电装置，其特征在于，包括：

多个移动式加电治具，包括：

一个加电单元，包括有一基座，所述基座底部突出一探针安装座，所述探针安装座设置有多个加电探针，该些加电探针用以电性接触一基板，所述基座的底部设置有一连动结合部；以及

一个传动单元，包括有一连动结构、一轨道结构以及一驱动组件，所述驱动组件可输出动力驱动所述连动结构，所述连动结构可于所述轨道结构上做相对运动，所述连动结构可结合于所述连动结合部，并透过所述驱动组件的动力输出驱动所述加电单元的移动，藉此使该些加电探针移动至一特定位置对所述基板施加一电压；

其中，该些加电单元的移动行程平均占用所述基板加电装置的宽度,所述基座具有一支撑底座、一夹持气缸以及一上盖，所述支撑底座是自所述探针安装座远离该些加电探针的一侧延伸的立面，所述支撑底座的顶部延伸所述上盖，所述上盖与所述探针安装座平行相对，所述上盖与所述探针安装座间设置有所述夹持气缸，用以驱动所述上盖的垂直位移以改变所述上盖与所述探针安装座间的相对距离以夹持所述基板；

其中，所述多个移动式加电治具为第一移动式加电治具与第二移动式加电治具，所述第一移动式加电治具的驱动组件与所述第二移动式加电治具的驱动组件并列设置于所述基板加电装置的一侧，其中，所述第一移动式加电治具的驱动组件靠近探针安装座的一侧，所述第二移动式加电治具的驱动组件远离探针安装座的一侧；通过一参数设定自动调整所述移动式加电治具的连动，改变第一移动式加电治具与第二移动式加电治具间的相对距离。

2.如权利要求1所述的基板加电装置，其特征在于，所述连动结构包括一皮带以及一滑块，所述滑块以其顶部结合所述连动结合部，并以其底部装设于所述轨道结构做相对运动。

3.如权利要求1所述的基板加电装置，其特征在于，所述轨道结构为一线性导轨。

4.如权利要求1所述的基板加电装置，其特征在于，所述驱动组件为一马达。

5.如权利要求1所述的基板加电装置，其特征在于，所述第一移动式加电治具的连动结构宽度为所述基板加电装置宽度的1/2，所述第二移动式加电治具的连动结构宽度为所述基板加电装置的宽度。

6.一种基板加电装置，其特征在于，包括：

两个移动式加电治具，各该移动式加电治具包括：

一个加电单元，包括有一基座，所述基座底部突出一探针安装座，所述探针安装座设置有多个加电探针，所述基座的底部设置有一连动结合部；以及

一个传动单元，包括有一连动结构、一线性导轨以及一马达，所述连动结构包括有一皮带以及一滑块，所述马达可输出动力驱动所述皮带带动所述滑块，所述滑块底部可于所述线性导轨上做相对运动，所述滑块顶部可结合于所述连动结合部，并透过所述马达的动力输出驱动所述加电单元的移动；

其中，各该移动式加电治具的马达并列设置于同一侧，各该加电单元的连动行程为所述基板加电装置宽度的一半，并通过一参数设定自动调整各该加电单元间的相对距离。

7.一种基板加电设备，其特征在于，包括：

一承载平台，用以承载一基板；

至少一对如权利要求1-6中之一所述的基板加电装置，分别对称设置于所述基板的两侧。