[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀掩模装置的制造方法以及蒸镀掩模的制造方法

权利要求书

1.一种蒸镀掩模的制造方法，其是制造蒸镀掩模的方法，

所述蒸镀掩模在第1方向上延伸，

所述蒸镀掩模具备：

中心轴线，其在所述第1方向上延伸，且被配置于和所述第1方向垂直的第2方向的中心位置处；

P1点和Q1点，它们被设置于所述中心轴线的一侧，且沿着所述第1方向互相分离；以及

P2点和Q2点，它们被设置于所述中心轴线的另一侧，且沿着所述第1方向互相分离，

所述P1点和所述P2点被有意配置成在蒸镀时关于所述中心轴线互相对称，

所述Q1点和所述Q2点被有意配置成在蒸镀时关于所述中心轴线互相对称，

其特征在于，

所述蒸镀掩模的制造方法具备：

制作工序，制作所述蒸镀掩模；

测量工序，测量从所述P1点至所述Q1点的尺寸X1和从所述P2点至所述Q2点的尺寸X2；以及

判定工序，在设所述尺寸X1的设计值或所述尺寸X2的设计值为α_X时，判定在所述测量工序中测量出的尺寸X1和尺寸X2是否满足

【算式1】

且满足

【算式2】

|X1-X2|≤60μm，

所述蒸镀掩模具备：

第1耳部和第2耳部，它们构成所述蒸镀掩模在所述第1方向上的一对端部；

多个贯通孔，它们被设置于所述第1耳部与所述第2耳部之间；以及

第1侧缘和第2侧缘，它们构成所述蒸镀掩模在垂直于所述第1方向的第2方向上的一对侧缘，

所述P1点和所述P2点被定位在形成于最靠所述第1耳部侧的对应的所述贯通孔的中心点处，

所述Q1点和所述Q2点被定位在形成于最靠所述第2耳部侧的对应的所述贯通孔的中心点处，

与所述P1点和所述Q1点对应的所述贯通孔形成于最靠所述第1侧缘侧的位置处，

与所述P2点和所述Q2点对应的所述贯通孔形成于最靠所述第2侧缘侧的位置处。

2.一种蒸镀掩模的制造方法，其是制造蒸镀掩模的方法，

所述蒸镀掩模在第1方向上延伸，

所述蒸镀掩模具备：

中心轴线，其在所述第1方向上延伸，且被配置于和所述第1方向垂直的第2方向的中心位置处；

P1点和Q1点，它们被设置于所述中心轴线的一侧，且沿着所述第1方向互相分离；以及

P2点和Q2点，它们被设置于所述中心轴线的另一侧，且沿着所述第1方向互相分离，

所述P1点和所述P2点被有意配置成在蒸镀时关于所述中心轴线互相对称，

所述Q1点和所述Q2点被有意配置成在蒸镀时关于所述中心轴线互相对称，

其特征在于，

所述蒸镀掩模的制造方法具备：

准备工序，准备所述蒸镀掩模；

测量工序，测量从所述P1点至所述Q1点的尺寸X1和从所述P2点至所述Q2点的尺寸X2；以及

判定工序，在设所述尺寸X1的设计值或所述尺寸X2的设计值为α_X时，判定在所述测量工序中测量出的尺寸X1和尺寸X2是否满足

【算式1】

且满足

【算式2】

|X1-X2|≤60μm，

所述蒸镀掩模具备：

第1耳部和第2耳部，它们构成所述蒸镀掩模在所述第1方向上的一对端部；

多个贯通孔，它们被设置于所述第1耳部与所述第2耳部之间；以及

第1侧缘和第2侧缘，它们构成所述蒸镀掩模在垂直于所述第1方向的第2方向上的一对侧缘，

所述P1点和所述P2点被定位在形成于最靠所述第1耳部侧的对应的所述贯通孔的中心点处，

所述Q1点和所述Q2点被定位在形成于最靠所述第2耳部侧的对应的所述贯通孔的中心点处，

与所述P1点和所述Q1点对应的所述贯通孔形成于最靠所述第1侧缘侧的位置处，

与所述P2点和所述Q2点对应的所述贯通孔形成于最靠所述第2侧缘侧的位置处。