[发明专利]一种软磁薄膜平面线圈复合磁传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种软磁薄膜平面线圈复合磁传感器，在两层软磁材料层之间设置至少一平面线圈结构，所述软磁材料层和所述平面线圈结构依次层叠布设，贴合固定；两层所述软磁材料层均完全覆盖所述平面线圈结构；所述平面线圈结构包括绝缘基层、平面线圈导体和绝缘层；所述平面线圈导体固定在所述绝缘基层上，所述平面线圈导体表面涂覆所述绝缘层，其特征在于：

所述软磁材料层的厚度大于所述平面线圈导体的宽度。

2.根据权利要求1所述的一种软磁薄膜平面线圈复合磁传感器，其特征在于，在两层所述软磁材料层之间设置有多层所述平面线圈结构，各层的所述平面线圈同向串联。

3.根据权利要求2所述的一种软磁薄膜平面线圈复合磁传感器，其特征在于，每两相邻的所述平面线圈结构之间设置有所述软磁材料层。

4.根据权利要求1所述的一种软磁薄膜平面线圈复合磁传感器，其特征在于，所述软磁材料层可用一层以上软磁薄膜重叠构成。

5.根据权利要求1所述的一种软磁薄膜平面线圈复合磁传感器，其特征在于，所述软磁材料层采用软磁非晶或软磁纳米晶带材制作。

6.根据权利要求1所述的一种软磁薄膜平面线圈复合磁传感器，其特征在于，两层所述软磁材料层和所述平面线圈导体均为矩形且对应边平行。

7.根据权利要求1所述的一种软磁薄膜平面线圈复合磁传感器，其特征在于，所述软磁材料层为椭圆形，所述平面线圈导体为矩形，且所述椭圆长轴与所述矩形长边平行。

8.根据权利要求1所述的一种软磁薄膜平面线圈复合磁传感器，其特征在于，所述绝缘基层为绝缘材料薄膜，或者是涂覆在所述软磁材料层上的绝缘涂料形成的层。

9.一种软磁薄膜平面线圈复合磁传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供一绝缘基层，在所述绝缘基层上制作平面线圈导体，在所述平面线圈导体表面涂覆绝缘层，形成平面线圈结构；

选择厚度大于所述平面线圈导体宽度的软磁薄膜带材，按照所述平面线圈结构尺寸，裁剪所述软磁薄膜带材成矩形或椭圆形，能够完全覆盖所述平面线圈结构；

将所述平面线圈结构置于两片相同尺寸的所述软磁薄膜带材之间，层叠布设紧密贴合，各层间无间隙；所述平面线圈结构和上层的所述软磁薄膜带材根据需要依次重复多层层叠布设。

10.根据权利要求9所述的一种软磁薄膜平面线圈复合磁传感器的制备方法，其特征在于，所述平面线圈导体通过溅射、镀膜、印刷和3D打印中的任意一种方式制作。