[发明专利]一种基于导模共振效应的传感器

权利要求书

1.一种基于导模共振效应的传感器，其特征在于，所述传感器（1）包括上下结构对称的第一光栅结构A和第二光栅结构B，所述第一光栅结构A和第二光栅结构B之间设有一具有腔体结构的微流层C，所述微流层C采用圆环形密闭热熔胶经过加热粘合在上下两个第一光栅结构A和第二光栅结构B上，形成气密性良好的腔体，在所述微流层C的两端通过微流导管与外界相连，所述微流层C通过微流导管向其内通入不同的测量样品；所述第一光栅结构A从上到下依次设有基底层（10）、二氧化铪波导层（20）、五氧化二铌波导层（30）以及光栅层（40）；所述第二光栅结构B从上到下依次设有光栅层（40）、二氧化铪波导层（20）、五氧化二铌波导层（30）以及基底层（10）。

2.根据权利要求1所述的基于导模共振效应的传感器，其特征在于，所述基底层（10）由K9玻璃制成。

3.根据权利要求1所述的基于导模共振效应的传感器，其特征在于，所述光栅层（40）由光刻胶制成。

4.根据权利要求1所述的基于导模共振效应的传感器，其特征在于，所述微流层C的厚度为微米数量级。

5.根据权利要求1所述的基于导模共振效应的传感器，其特征在于，入射到所述传感器（1）的光会同时产生两个峰值响应波长λ₁和λ₂，当微流层C中测量样品的介质折射率增大时，两个峰值响应波长λ₁和λ₂会发生移动，两个峰值响应波长λ₁和λ₂之间的峰值之差λ₃会随着待测样品折射率的提高而减小。